真空紫外波段的AlMgF2膜-光学精密工程.PDF

第9 卷　第2 期　 光学　精密工程 Vol. 9, No. 2 2 0 0 1 年 4 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A p r. , 200 1 ( ) 文章编号　1004924X 200 1 020 16504 紫外- 真空紫外波段的A l+ M gF2 膜 刘　颖, 李福田 ( 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林 长春　130022) 摘要: A l+ M gF 2 膜是真空紫外波段常用的一种反射膜。根据薄膜光学的电磁场理论计算了正入射条件 下A l+ M gF 2 膜在真空紫外波段的反射率随氟化镁膜厚度的变化规律。研究了A l+ M gF 2 膜的制备工 艺, 利用 紫外真空紫外反射率