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AMRAY-1000B扫描电镜真空系统分析及维修 AMMY-1000B扫描电镜真空系统分析及维修孔明光（中国科学 院固体物理研究所合肥230031）本文系统地对AMRAY—1000B扫描 电镜真空系统原理进行分析，并给出维修实例。 刖冃世纪80年代的产品，性能稳定可靠。我单位于1985年从 中国科学院科学仪器厂购买该厂引进的AM-RAY-1000B扫描电镜。 该设备在我所的科研工作中发挥重耍的作用。但由于该仪器超期服 役，真空系统容易出现不同程度的故障。本文就对该仪器的真空系统 进行分析并给出维修实例。 1真空系统组成AMRAY-1000B扫描电镜的真空系统包括抽气 设备、真空测量装置和各种不同功能的阀门以及阀门控制系统。 抽气设备一般包括机械泵、扩散泵和离子泵。 2真空系统的工作原理图（见）。 AMRAY-1000B真空系统示意图真空系统的工作过程：打开冷 却水，空气压缩计达到4个气压时，打开真空电源（VAC.POWER） 开机械泵，按下准备状态（STAND.BY）这时机械泵对V2、V3前头 到机械泵出口的一段管道抽气，当抽气到一定程度时，TC1提供信号 给控制系统，使V2打开，机械泵对前级抽气，当抽到符合扩散泵开 启条件时，TC2给控制系统提供信号，扩散泵电炉通电加热，这时维 持20?30mim以便扩散泵充分加热，进入工作状态。 扩散泵进入工作状态后，关掉准备状态(STAND.BY) V2关, V3开，机械泵对样品室抽气，抽气达到耍求时，TC4提供控制信号, 这时V3、V4关，数秒钟后，V4、V5、V2同时打开，扩散泵对整个 系统抽高真空。 3真空控制AMRAY-1000B扫描电镜的真空控制分手动和自动 两种方式。 手动控制手动控制是用手动开关控制继电器的吸合，继 电器触点的动作控制送到电磁阀的交流电压。(2)自动控制当用自动 程序代替所有手动开关时，真空控制便由手动转为自动状态。它主要 由热偶规放大线路，3s延时线路合阀门控制线路组成。 4真空系统的检修真空系统的故障一般有两种：一是系统漏气, 二是控制失灵。 (1)真空检漏当镜筒低真空达不到要求时，一般有两种情况, 一种是真空系统长时间不保持真空状态或房间湿度太大，这种情况增 加抽真空的时间就能解决，另一种情况是真空系统中有漏气，这就需 要仔细检查，找出漏气原因并加以解决。 低真空检漏的基本方法是采用灵活观察和逐级检漏相结合。对 一般的漏气首先检查所动过或装拆过的部位，经常活动的部分也应引 起注意，如样品台的各种手柄，手动隔离阀VI由于经常处于活动状 态，容易漏气，以上检查都无效时，可以利用手动操作，逐级检查真 空系统。另外还可以利用真空系统的结构和工作原理来判断漏气的部 分。例如，开始时真空指示正常当换灯丝后，机械泵重新抽样品室时, 真空表管道指示上升的很慢，往往要抽lCmn左右或更长的时间， V4才能打开，当V4打开后，真空表的管道指示反而上升的很快这 时可以判断VI关闭不紧，拆下VU青洗并换上新的密封圈后，恢复 正常。 真空系统中有漏气时，会影响自动控制的正常运行，所以检修 时首先要判断是真空漏气还是自动程序失灵。 （2）控制部分检修当系统没有漏气，而自动程序不能正常运 行时，首先转成手动控制，用手动开关检查阀门是否动作，如果阀门 自动时打不开，而手动能够打开，说明控制的执行部分是正常的，故 障出在自动控制部分。如果手动时阀门也打不开，应首先检查继电器 是否动作，交流110V是否送到阀门线圈上，阀门线圈是否烧坏等等。 5真空系统的维修实例5.1现象准备状态时，前级和管道真空 指示正常，关掉准备状态，机械泵抽样品室时，管道真空指示降到很 低 抽很长时间表针也不动。 分析与处理根据现象可以判断V5、V3和前级正常，逐个转动 样品台手柄，观察真空表的管道指示有无反应，这样可以检查手柄是 否漏气，如表针无反应，说明手柄不漏气。检查样品台的大橡皮圈和 样品室密封面时，发现橡皮圈上有纤维毛，清洁干净后，故障排除。 5.2现象当按下样品室放气开关时，V4、V5关，V2开但V6 不开，不能放气。 分析与处理首先，改用手动放气，先打开V2阀，再打开V6 阀，结果正常，说明自动控制部分有故障。断电后，检查PC板上的 三极管Q12发现其损坏，更换后，故障排除。例3现象：启动机械 泵，打开真空电源，抽很长时间，管道真空无指示，机械泵声音正常。 分析与处理首先手动打开V2阀，看前级真空指示是否正常， 结果前级真空指示也不正常，由于TC1和TC2同时损坏的可能性极 小，可以认为热偶规TC1没有问题。这时，需要检查机械泵上的电 磁阀是否打开。结果发现阀尾部的整流二极管烧坏，换上新的后，故 障排除。 5.3现象开机械泵和真空电源，管道真空指示正常，按下准备 状态，V2灯亮，但前级真空无指示，扩