等离子刻蚀机技术参数.doc

PAGE \* MERGEFORMAT 1 射频信号源技术参数 一、设备名称：射频模拟信号源 用于射频、微波产品的调试，可作为本振和扫频源使用。要求该仪器具有高的输出功率和宽的输入范围，有较高的频率分辨率，相位噪声低。 二、采购数量：2台 三、技术参数及配置要求： 频率范围：9kHz至20GHz，频率分辨率：0.001Hz， 频率稳定度(ppm/day)：≤±5×10-10，时基稳定度：漂移率:2*10-9/天 。 最大输出功率(指标值)：≥ +16dBm(f 10GHz)，+15dBm (f 10GHz) 最小功率分辨率：0.01dB 相位噪声（10kHz频偏，指标值）：载波1GHz：≤ ﹣132dBc/Hz，载波10GHz：≤-113dBc/Hz 相位噪声（10Hz频偏，指标值）：载波1GHz：≤ ﹣85dBc/Hz，载波10GHz：≤-63dBc/Hz 非谐波杂散（指标值，10kHz频偏）： 载波频率1GHz，≤﹣75dBc 载波频率10GHz，≤﹣62dBc 谐波失真：≤﹣55dBc@ 10 GHz 宽带噪声（载波10GHz，offset 10MHz）：≤﹣148dBc/Hz 主要功能： 可作频率、功率扫描 ；有点频（CW）输出 ；有相位偏移模式, 有多台相位相参能力. 11.工作环境：0 ~ 50℃ 四、安装、售后及培训： 1、交货期：合同正式生效后6