具有长行程的PIFOC物镜扫描仪-PhysikInstrumente.PDFVIP

具有长行程的PIFOC物镜扫描仪 用于显微镜物镜的高精度定位器和扫描仪 P-725  行程达460微米  与机动化驱动器相比，具有明显更快的 响应和更长的使用寿命  亚纳米级分辨率的物镜精密定位  带电容式传感器的直接计量：高线性度  零间隙，高精度柔性铰链导向系统可实 现更好的聚焦稳定性  与MetaMorph成像软件兼容  PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命  QuickLock螺纹适配器可实现便捷连接  通孔尺寸达Ø29毫米 应用领域  超分辨率显微镜  光学圆盘显微镜  共聚焦显微镜  3D成像  筛选  干涉测量  测量技术  自动聚焦系统  生物技术  半导体测试 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。 它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 14.06.2018 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。 直接位置测量带来最大精度 运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。 规格 P-725.1CL P-725.2CL P-725.4CL P-725.x0L P-725.1CD P-725.2CD P-725.4CD 单位 公差 开环版本 P-725.1CA P-725.2CA P-725.4CA 主动轴