完整的3D测量解决方案-Sensofar.PDF

完整的3D测量解决 方案 此款S neox Five Axis 3D光学轮 廓仪结合了高精度旋转模块 和S neox 3D光学轮廓仪的先进 检测和分析功能 这使得在定义的位置上实现自动 的3D表面测量，并可将其组合在 一起，以创建完整的3D 体积测 量。S neox 3D测量技术涵盖了广 泛的尺度，包括形状（聚焦变 化）、亚纳米粗糙度（干涉测 量）或需要高横向分辨率以及 垂直分辨率（共聚焦）的临界尺 寸。 2