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第 卷第 期 光 子 学 报
48 1 Vol.48No.1
年 月
2019 1 Januar2019
ACTAPHOTONICASINICA y
引用格式: , , ,
LINTao NINGShao-huan LIJin-in etal.Tem erature-deendentPhotoluminescenceCharacteristicsof
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StrainedGaInPQuantumWellStructureJ.ActaPhotonicaSinica 2019 481 0125001
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林涛 宁少欢 李晶晶 等 张应变 量子阱结构变温光致发光特性 光子学报
. GaInP J. 2019481 0125001
张应变GaInP量子阱结构变温光致发光特性
1 1 1 1 2 3 3
, , , , , ,
林涛 宁少欢 李晶晶 张天杰 段玉鹏 林楠 马骁宇
( , )
1西安理工大学 电子工程系 西安 710048
( , )
2西北大学 物理学院 西安 710069
( , )
3中国科学院半导体研究所 光电子器件国家工程中心 北京 100083
: ,
摘 要 对张应变 量子阱激光器材料结构开展变温光致发光特性的研究 实验中激光器有源区
GaInP
,
为 量子阱结构 采用 离子注入并结合 下的快速热退火处理来诱导有源区发
9nmGa In P N 730℃
0.575 0.425
( ) : ,
生量子阱混杂 变温 光致发光特性研究表明 时 只进行快速热退火或者 离子注
. 10K~300K 300K N
, ,
入的样品不发生峰值波长蓝移 离子注入后样品在退火时发生波长蓝移 且蓝移量随退火时间的增加
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