Air-gap铜互连结构的热应力分析.pdfVIP

图片目录 [5] 图1 在狭窄空间形成多层气隙的SEM 截面图 3 [7] 图2 IBM Air- gap 铜互连线SEM 截面图 3 图3 电迁移作用示意图 6 [19] 图4 两种应力迁移所致的缺陷和形成机制 8 [27] 图5 铜互连单（双）大马士革工艺流程 13 [29] 图6 （a ）八层铜互连布线的SEM 图；（b ）铜互连的TEM 图像 13 [6] 图7 IBM Air- gap 铜互连工艺示意图