真空技术及半导体设备实务.PDF

真空技術及半導體設備實務 自動化真空吸盤 機械手臂 班級碩光一甲: 姓名黃維順: 授課老師許進明: 目錄 介紹 -機械手臂 -真空吸盤 /優點 /缺點 -真空吸盤工業應用 結論 參考資料 機械手臂 機械手臂是具有模仿人類手臂功能並可完成各種 作業的自動控制設備，這種機器人系統有多關節 連結並節允許在平面或三度空間進行運動或使用 線性位移移動。構造上由機械主體、控制器、伺 服機構和感應器所組成，並由程式根據作業需求 設定其一定的指定動作。機器人的運作由電動機 驅動移動一隻手臂，張開或關閉一個夾子的動作， 並精確的回饋至可程式邏輯的控制器。 這