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3 3 1 材 料 热 处 理 学 报
第 卷 第 期 Vol ． 33 No ． 1
2 0 1 2 年 1 月 TRANSACTIONS OF MATERIALS AND HEAT TREATMENT January 2 0 1 2
奥氏体不锈钢上功能梯度SiC 薄膜的制备和性能
， ， ，
李合琴 都 智 储汉奇 聂竹华
( ， 230009 )
合肥工业大学材料科学与工程学院 安徽合肥
: SiC Ti / TiN Ti / TiN / SiC 。 XRD
摘 要 用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了 单层膜和 双层膜以及 功能梯度薄膜 采用 和
; AFM SEM 。 :Ti / TiN
显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征 用 和 对薄膜的表面和截面形貌进行了表征 结果表明 双层
15 ∶ 15 ， ， ， 15. 6 GPa ， SiC 。 ，
膜在氩氮流量比为 时 薄膜的结晶质量最好 硬度最高 达到 最适合作为钢基 薄膜的缓冲层 另外 功能梯
SiC SiC ; SiC SiC ， SiC
度 薄膜比 单层膜的结晶质量好 不同退火温度下功能梯度 薄膜的硬度高于 单层膜 同时功能梯度 薄膜的表
面结晶质量也优于 SiC 单层膜。
: ; ; SiC ; Ti / TiN ; Ti / TiN / SiC
关键词 奥氏体不锈钢 磁控溅射 单层膜 双层膜 功能梯度薄膜
中图分类号:TG142. 7 1 ;TG174 . 44 文献标志码:A 文章编号:1009 -6264 (20 12 )0 1-0 150 -05
Preparation and properties of Ti / TiN / SiC functionally gradient films
on austenitic stainless steel
LI He-qin ， DU Zhi ， CHU Han-qi ， NIE Zhu-hua
(School of Materials Science and Engineering ，Hefei University of Technology ，Heifei 230009 ，China)
Abstract :SiC film ，Ti / TiN bilayers and Ti / TiN / SiC functionally gr
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