扫描电子显微镜成像模式在金属材料研究中的选用-重庆理工大学学报.PDF

第３２卷　第７期 重 庆 理 工 大 学 学报（自然科学） ２０１８年７月 Ｖｏｌ．３２　　Ｎｏ．７ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ） Ｊｕｌｙ．２０１８  ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１６７４－８４２５（ｚ）．２０１８．０７．０２０ 本文引用格式：杨显，胡建军，郭宁，等．扫描电子显微镜成像模式在金属材料研究中的选用［Ｊ］．重庆理工大学学报（自然科学），２０１８（７）： １３２－１３７． Ｃｉｔａｔｉｏｎｆｏｒｍａｔ：ＹＡＮＧＸｉａｎ，ＨＵＪｉａｎｊｕｎ，ＧＵＯＮｉｎｇ，ｅｔａｌ．ＩｍａｇｉｎｇＭｏｄｅＳｅｌｅｃｔｉｏｎｏｆＳｃａｎｎｉｎｇＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅｆｏｒＭｅｔａｌＭａｔｅｒｉａｌｓＲｅｓｅａｒｃｈ ［Ｊ］．ＪｏｕｒｎａｌｏｆＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ），２０１８（７）：１３２－１３７． 扫描电子显微镜成像模式 在金属材料研究中的选用 １ １，２ ３ １ １ １ 杨　显 ，胡建军 ，郭　宁 ，何　川 ，张雨晴 ，王　静 （１．重庆理工大学 材料科学与工程学院，重庆　４０００５４； ２．模具技术重庆市高校市级重点实验室，重庆　４０００５４； ３．西南大学 材料与能源学部，重庆　４００７１５） 摘　　　要：介绍了扫描电子显微镜的电子成像原理、特点及常见的３种信号探测器，分析了扫 描电子显微镜成像技术中二次电子（ＳＥ）和背散射电子（ＢＳＥ）信号与金属材料表面形貌、原子 序数及晶体取向信息的表征关系。以经电子束表面处理不锈钢的熔坑、退火态球墨铸铁组织表 征以及热扩渗４０Ｃｒ钢渗层组织研究为例，详细阐述了普通 ＳＥ、高分辨二次电子（ＩｎＬｅｎｓ）及 ＢＳＥ三种成像模式在金属材料研究中的应用特点及选用。 关　键　词：扫描电子显微镜；成像模式；金属材料；二次电子；Ｉｎｌｅｎｓ；背散射电子 中图分类号：ＴＮ１６　　　　文献标识码：Ａ 文章编号：１６７４－８４２５（２０１８）０７－０１３２－０６ ＩｍａｇｉｎｇＭｏｄｅＳｅｌｅｃｔｉｏｎｏｆＳｃａｎｎｉｎｇＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ ｆｏｒＭｅｔａｌＭａｔｅｒｉａｌｓＲｅｓｅａｒｃｈ １ １，２ ３ １ １ １ ＹＡＮＧＸｉａｎ，ＨＵＪｉａｎｊｕｎ ，ＧＵＯＮｉｎｇ，ＨＥＣｈｕａｎ，ＺＨＡＮＧＹｕｑｉｎｇ，ＷＡＮＧＪｉｎｇ （１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭａｔｅｒｉａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈｏｎｇｑｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ；２．ＭｏｕｌｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｈｏｎｇｑｉｎｇＭｕｎｉｃｉｐａｌＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＩｎｓｔｉｔｕｔｉｏｎｓ ｏｆＨｉｇｈｅｒＥｄｕｃａｔｉｏｎ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４０００５４，Ｃｈｉｎａ；３．ＦａｃｕｌｔｙｏｆＭａｔｅｒｉａｌｓａｎｄＥｎｅｒｇｙ， ＳｏｕｔｈｗｅｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈｏｎｇｑｉｎｇ４００７１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｉｍａｇｉｎｇｍｏｄｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅ，ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓａｎｄｔｈｒｅｅｃｏｍｍｏｎｓｉｇｎａｌｄｅｔｅｃｔｏｒｓｏｆｔｈｅ ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＳＥＭ）ｗｅｒｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐｂｅｔ