基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计-中国科技论文在线.PDFVIP

中国机械工程第 14 卷第 5 期 2003 年 3 月上半月 文章编号: 1004- 132 (2003) 05- 0374- 03 基于L IGA 技术的 3K - 2 型微行星齿轮减 速器的设计和制造 　　　张卫平　陈文元　陈　迪　吴校生　陈晓梅　徐正福 　　　　摘要: 使用同步辐射光和X 射线掩模板的L IGA 技术能够制造大深宽 比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制 造, 包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 射线掩模板的 技术、 射 X CAD X 线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制, 以及微行星齿轮减速器的微装配。目 前已经得到了金属镍的厚度为 400m 的太阳轮、行星轮, 厚度为 200 m 的 固定内齿轮、旋转内齿轮, 其齿数分别为 15、11、36、39。用这些微齿轮装配成 张卫平　讲师 了一台模数为003 mm 、减速比为44. 2、最大外径为 2 mm 的微行星齿轮减 速器, 并将其成功地应用在直径为 2 mm 的电磁型微马达上。 关键词: 3K - 2 型微行星齿轮减速器; 微齿轮; L IGA ; 电磁型微马达 中图分类号: TH 132. 425　　　文献标识码:A 　　微行星齿轮减速器可以降低微马达的转速, 交通大学用 EDM 技术研制出了模数为 006 [ 2 ] 提高微马达的输出力矩, 是微机电系统的重要组 mm 、减速比为44 2 的微行星齿轮减速器 。使用 成部件。1994 年日本东芝技术研究所使用微细电 同步辐射光和X 射线掩模板的L IGA 技术能够 火花技术(EDM ) 制造出了模数为 004 mm 、减速 制造大深宽比的三维微结构, 该结构侧壁陡峭, 表 [ 1 ] [ 3 ] 比为44 2 的微行星齿轮减速器 ; 1998 年, 上海 面平整 。利用L IGA 技术的特点, 我们又研制出 模数为 003 mm 、最大外径为 2 mm 的 3K - 2 型 收稿日期: 2001—04—23　　修回日期: 2002—09—09 微行星齿轮减速器。 ray. Senso r and A ctuato rs, A , 1992, 35: 1～ 8 4　结论