不同厚度二维VN插入层对TiSiN纳米复合膜微观结构和力学性能的影响.PDF

第29 卷 第 10 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 29 No. 10 2014 年10 月 Journal of Inorganic Materials Oct., 2014 文章编号: 1000-324X(2014)10-1082-05 DOI: 10.15541/ji 不同厚度二维 VN 插入层对 TiSiN 纳米复合膜微观结构 和力学性能的影响 1 2 2 2 2 2 2 薛增辉 , 李 伟 , 刘 平 , 马凤仓 , 刘新宽 , 陈小红 , 何代华 (上海理工大学 1. 机械工程学院； 2. 材料科学与工程学院, 上海 200093) 摘 要: 采用TiSi 复合靶与V 靶, 用射频磁控溅射工艺在TiSiN 纳米复合膜中插入不同厚度的VN 纳米层, 采用X 射 线衍射仪(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪研究了VN 插入层厚度对TiSiN 纳米复合膜的微观结 构和力学性能的影响。结果表明: 当TiSiN 纳米复合膜中插入VN 纳米层厚度较小时, 薄膜由纳米复合结构转变成纳 米多层结构, 薄膜硬度降低。继续增加VN 层厚度, 薄膜硬度随之升高, 在VN 沉积层厚为0.5 nm 时薄膜出现连续贯 穿多层纳米层、结晶度良好的柱状晶, TiSiN 层与VN 层呈共格外延生长的结构, 薄膜硬度达到37.2 GPa 。随着VN 层 厚的继续增加, 薄膜的共格外延生长结构消失, 硬度下降。 关 键 词: TiSiN 纳米复合膜; VN 插入层; 微观结构; 力学性能 中图分类号: TG174 文献标识码: A Influence of VN 2-D Inserted Layers Thickness on Microstructure and Mechanical Property of TiSiN Nanocomposite Film 1 2 2 2 2 XUE Zeng-Hui , LI Wei , LIU Ping , MA Feng-Cang , LIU Xin-Kuan , 2 2 CHEN Xiao-Hong , HE Dai-Hua (1. School of Mechanical Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093,China; 2. School of Materials Science and Engineering,