2019年奈米科技教学改进计画数位化网路自我学习练习题「微电薄膜.ppt

奈米科技教學改進計畫 數位化網路自我學習練習題 「微電薄膜之生長及分析實驗」單元 第一單元:真空技術與實務操作 逢甲大學材料科學與工程學系編製; ( ) 何謂真空的定義？ (A) ㄧ容器內的壓力低於一大氣壓(B)ㄧ容器中沒有任何的氣體(C) ㄧ容器中氣體密度小於2.5×10-19 mol/cm3.; ( A ) 何謂真空的定義？ (A) ㄧ容器內的壓力低於一大氣壓(B)ㄧ容器中沒有任何的氣體(C) ㄧ容器中氣體密度小於2.5×10-19 mol/cm3.; ( ) 真空可以真空度來區分為(何者為非)：(A) 粗略真空(1×105 Pa ~1× 10-1 Pa) (B) 高度真空(1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa) (C) 超高真空(1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa) ; ( B ) 真空可以真空度來區分為(何者為非)：(A) 粗略真空(1×105 Pa ~1× 10-1 Pa) (B) 高度真空(1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa) (C) 超高真空(1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa) ; ( ) 下列敘述何者為非？ (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空; ( B ) 下列敘述何者為非？ (A) 真空室是完全一個密閉的空間 (B) 真空計是用來偵測真空度 (C) 派藍尼真空計常被使用在偵測超高真空; ( ) 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分？ (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非; ( C ) 真空計的分類可用以下哪幾種方式區分？ (A) 量測範圍 (B) 量測方法 (C) 以上皆是 (D) 以上皆非; ( ) 如何選擇真空計：(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇; ( B ) 如何選擇真空計：(A)依照當日天氣 (B) 依照系統所需真空度 (C) 依照個人喜好選擇; ( ) 以下何者為非： (A) 粗略真空1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa (B) 中度真空 1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa (C) 高度真空1×10 Pa-1 ~ 1×10-4 Pa (D) 超高真空1×105 Pa ~1× 10-1 Pa; ( D ) 以下何者為非： (A) 粗略真空1×10-6 Pa~ 1× 10-9 Pa (B) 中度真空 1×10-4 Pa ~1×10-6 Pa (C) 高度真空1×10-1Pa ~ 1×10-4 Pa (D) 超高真空1×105 Pa ~1× 10-1 Pa; ( ) 目前最常用的真空單位：(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm; ( A ) 目前最常用的真空單位：(A) Pascal (B) Torr (C) mbar (D) atm ; ( ) 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750 mbar ; ( C ) 下列何者非等值換算單位 (A) 1 atm (B) 760 torr (C) 750mbar; ( ) 下列何者非真???計(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) T－A真空計; ( C ) 下列何者非真空計？(A) 派藍尼真空計 (B) 熱陰極真空計 (C) T－A真空計; ( ) 以下何者為是 ： (A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標; ( C ) 以下何者為是 ： (A) 真空系統是指幫浦的串連 (B) 真空系統是一完善系統不需要加裝真空計辨識真空度 (C) 真空計在真空系統中是辨識真空度的重要指標; ( ) 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed); ( A ) 真空系統如何選用幫浦(下列何者為是)? (A)所能達到之最高壓力(high Pressure ) (B)有效之工作壓力範圍(Pressure Range) (C)抽氣速率大小(Pumping Speed) ; ( ) 下列何者不是真空系統選用幫浦所需考慮的準則？ (A)抽氣速率大小(Pumping Speed) (B)排氣口壓力(Exhaust Pressure) (C)無效之壓力範圍(Pressure Range); ( C ) 下列何者