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激光共聚焦
显微系统指南
解释激光扫描显微系统的基本原理和特性
通俗易懂
什么是激光显微系统?
激光显微系统把激光器和光学显微镜组合在一起,呈现高分辨率图像,Z 轴测量数据达到纳米级。
这些系统通常叫做“激光扫描系统”,但也简称为“LSM” (laser scanning microscope) 或
“LSCM”(laser scanning confocal microscope)。激光显微系统是可同时采用大景深和 3D 测量法进
行观测的成像和测量设备。
它对要观测的样品的大小和材料没有限制,适合进行非破坏性观测,类似光学显微镜。
由于无需预先制备样品,所以可以精确分析目标的状态,可以精确再现色彩。还可以观测透明物体,
包括薄膜表面、薄膜内部或背部,并测量薄膜厚度。
激光显微系统的明显特点是能完成原本要用三台独立设备完成的任务 — 光学显微镜、扫描电子显微
镜和表面粗糙度计。
本节概述激光扫描显微系统,先介绍它的基本特性,然后介绍工作原理。我们希望下列内容对你很有
用。
VK-9700 集光学显微镜、SEM 和粗糙度测量仪于一身,很方便
VK-9700/ 光学显微镜 /SEM/ 粗糙度计比较
激光扫描
光学
SEM 粗糙度计 显微系统
显微镜
VK-9700
不处理 好 不好 好 好
光学显微镜 SEM 粗糙度计
便捷 分辨率高,景深大 表面测量
高清晰度
不好 好 不好 好
超深度检查
色彩检查 好 不好 不好 好
3D 测量 不好 好 可能 好
彩色 3D 激光扫描显微系统
* 与常用的光学显微镜、SEM 和粗糙度计比较。
2
激光显微系统的特性 (1)
比较 — 光学显微镜
光学显微镜 激光显微系统
就下列几个方面而言,激光显微系统的适用性与光学显微镜相同:
支持在室温空气中放大观测。
在观测之前不需要预处理。
但是,它与光学显微镜相比有下列几个优点:
景深大。
可以捕捉 3D 形状并显示高分辨率彩色图像。
它还能测量透明物体的薄膜厚度。
可以大倾角观测和测量样品表面。
某些常规激光显微镜还时常有一些缺点:
不能显示彩色图像。
需要专业知识才能使用。
KEYENCE VK-9700 彩色 3D 激光扫描显微系统集简单操作、彩色数据捕捉和激光图像捕捉于一身,
从设计上克服了光学显微镜和常规激光显微系统存在的这些局限性。
3
激光显微系统的特性 (2)
比较 — 扫描电子显微镜 (SEM)
电子显微镜 激光显微系统
与电子显微镜一样,激光显微镜也有下列特性:
可以用大景深捕捉放大图像。
放大倍数范围大。
除了这些相似处,激光显微镜与电子显微镜相比有下列几个优点:
支持用高放大倍数进行彩色观测。
可以测量形状并捕捉不规则表面(数值)。
* 部分 SEM 也可以测量形状。
观测不需求高真空和导电样品。
操作相对简单,不需要大量定期维护。
另一方面,电子显微镜与激光显微镜相比有下列几个优点:
在用高放大倍数进行观测时分辨率较高(可辨别两点之间的最小距离)。
可以从各个面观测 3D 样品。在从上面
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