用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析-上海交通大学物理试验中心.PDF

( ) 首都师范大学学报 自然科学版 第 20 卷 　第 2 期 Journal of Capital Normal University Vol. 20 ,No. 2 1999 年 6 月 (Natural Science Edition) J une 　1999 用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析 周佩瑶 徐玉兰 吴亚非 　　 　　 (天津大学物理系) (首都师范大学) (天津大学物理系) 摘 要 摘要 :分析了国产 6JA 型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差 ,给出了修正系数及实验结果. 关键词 :干涉显微镜 ,薄膜 ,厚度 ,波长 ,误差. 中图分类号: TH742 1 　原　理 干涉显微镜是以光的干涉原理为基础 ,用于检查工件表面光洁度的仪器 ,从光路上看 ,它 是干涉仪和显微镜的结合. 国产的干涉显 微镜主要有 6J 和 6JA 二种类型. 本实验 用的是 6JA 型干涉显微镜 ,其光学系统如 图 1 所示 ,属于双光束干涉系统. 光源 1 发出的光经聚光镜 2 投射到孔径光阑 4 平面上 ,视场光阑 5 不在照明物镜 6 的前 焦面上 ,光经分光板 7 ,被分成两部分 :一 部分反射 ,另一部分透射. 被反射的光经 物镜 8 射向标准反射镜 M 1 , 再由 M 1 反 射 ,射向目镜 14 ;而从分光板上透射的光 线通过补偿板 9 、物镜 10 射向工件表面 M 2 , 再由 M 2 反射, 射向目镜 14. 在目镜 分划板 13 上两束光产生干涉. 从目镜中 可以观察到干涉条纹. 若样品表面平滑 , 则干涉条纹是平直的. 图 1 　6JA 型干涉显微镜光学系统 在干涉仪中 ,只要两光路的光程差发 1 —光源　2 —聚光镜 　3 、11 、15 —反射镜 　4 —孔径光阑 　5 —视 场光阑　6 —照明物镜 　7 —分光板 　8 、10 —物镜 　9 —补偿板 　 生变化 ,就会引起干涉场中干涉条纹的移 12 —转向棱镜　13 —分划板　14 —目镜　16 —摄影物镜 动. 光程差改变一个入射光的波长 ,则干 收稿日期 © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 34 ( ) 首都师范大学学报 自然科学版 1999 年 涉条纹移动一个间距. 故待测样品表面若存在局部不平 ,结果会导致干涉条纹发生弯曲 ,条纹 弯曲的程度是样品表面微观凹凸不平程度的反映 ,只要测出条纹的弯曲量就可以求出样品表 面的凹凸量. 根据这一原理 ,可借助该仪器来测量镀膜膜层的厚度. 当平 行光垂直入射样品表面时 ,样品表面的台阶高度 h 与相应干涉 ( ) 条纹的弯曲量 a 满足如下定量关系 参考图 2 λ ( )