衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电-物理试验杂志.PDF

第 卷 第 期 物 理 实 验 ｌ．３４ Ｎｏ．６ ３４ ６ Ｖｏ 　 　 　 　 　 　　 　　　　　　　 　　　 　　 年 月 ＰＨ ， ＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ 　 　 Ｊｕｎ． ０ ０１４ ６ １４ ２ ２ 　 　 　 　 櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌 薄膜的结构和光电性能的影响 范丽琴 （ ， ） 华侨 大学 厦门工学院 福建 厦门 １０２１ ３６ ： ， 摘 要 利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜 研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响 当 ． 　 　 　 ， （ ） ， 给衬底加热时 射线衍射观测 峰相对强度明显增强 在衬底温度 下制备的薄膜的晶粒尺寸最大 为 Ｘ ０ ０２ ． ２５０ ℃ ， ， ， 表面粗糙度最小 为 表明在衬底温度 下制备的薄膜的结晶效果最好 衬底温度从 升高到 ２４．９ｎｍ ８．１ｎｍ ２５０ ℃ ． ３０℃ －４ －４ ， ， ， ０ ℃ 薄膜的电阻率相应地从１４．３５×１０