薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单用于确定.PDF

（4）薄膜晶体管液晶显示器件生产企业进口生产设备清单 （用于确定维修所需进口的零部件免税范围） 英文名称 序号 工序 设备分类 设备名称 （供参考） 等离子增强化学气相淀积设备/化学气相沉积 PECVD/CVD/Plasma Enhanced 1 机/等离子加强气相沉积设备/化学气相成膜 Chemical Vapor Deposition 装置 2 常压化学气相淀积设备 APCVD Sputter/Metal Sputter/ITO 溅射机(装置)/真空金属溅镀机/金属/金属氧 3 Sputter/Metal/IGZO/ITO Sputter 成膜设备 化物/铟锡氧化物成膜装置 Equipment 4 离子注入机/离子植入机 Ion implant/Implanter Gas Treatment 特殊尾气处理装置/废气处理机/ CVD制程残 Equipment/scrubber/Combustion 5 气处理机/燃烧式尾气处理设备/无膜机CVD制 type waste gas abatement 程残气处理机 equipment/Gas scrubber system Track/Coater Developer 6 涂胶显影机(装置) Equipment/Coater 7 涂胶机 Pre Coater/Coater 8 显影机 Developer Developer Recycle System/TMAH developer dilution