基于机器视觉的大口径光学元件表面损伤检测技术研究进展.PDFVIP

 基于机器视觉的大口径光学元件表面损伤检测技术研究进展 陶显, 张正涛, 张峰, 史亚莉, 徐德 中国科学院自动化研究所精密感知与控制中心，北京 100190 E-mail: xtao5202@ia.ac.cn 摘 要：本文介绍了基于机器视觉的大口径光学元件表面损伤检测的相关研究工作与发展现状，分析了暗场成像方式 下的在线和离线两种大口径光学元件表面损伤检测系统，重点对检测系统存在的效率、尺寸标定、子图像拼接、适应 性等关键问题进行了探讨，最后对大口径光学元件表面损伤检测的发展前景和方向进行了展望。 关键词：大口径光学元件,机器视觉,暗场成像,损伤检测 Development of Detection Techniques of Surface Defects for Large Aperture Optical Elements Based on Machine Vision TAO Xian, ZHANG Zheng-tao, ZHANG Feng , SHI ya-li , XU De Research Center of Precision Sensing and Control, Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China E-mail: xtao5202@ia.ac.cn Abstract: This paper describes the status of research and development related to large-aperture optics surface damage detection based on machine vision, which is divided into online and offline systems of large-aperture optics surface damage detection under dark field imaging mode. The key issues about efficiency, size scaling, sub-image mosaic and adaptability were emphatically discussed in the existence of the detection system. Aiming at those existing problems, this paper outlines a prospect of the future development and direction of he last large-aperture optical element surface damage detection. Keywords: Large aperture optics, machine vision, dark field imaging, damage detection 1 引言 检测对检测设备的效率、分辨率和精度都提出了高要 求。大口径光学元件实物图如图 1 所示[5]。目前光 随着光学加工和制造技术的发展以及科学研究 学元件表面损伤检测方法大部分是基于光散射理论， 和装备制造的需要，光学系统需求的有效口径越来越 传统的表面损伤检测方法分为目视法、滤波成像法、 大，表面质量要求越来越高。然而，由于技术限制，