双片集成数字硅陀螺接口ASIC的设计与测试-哈尔滨工业大学学报.PDFVIP

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2019-03-29 发布于天津
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双片集成数字硅陀螺接口ASIC的设计与测试-哈尔滨工业大学学报.PDF

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第４９卷　第１０期哈　尔　滨　工　业　大　学　学　报Ｖｏｌ４９Ｎｏ１０　　２０１７年１０月ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＨＡＲＢＩＮＩＮＳＴＩＴＵＴＥＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＯｃｔ．２０１７ＤＯＩ：１０．１１９１８／ｊ．ｉｓｓｎ．０３６７⁃６２３４．２０１６０７１０３　　　　　　双片集成数字硅陀螺接口ＡＳＩＣ的设计与测试１，２１，２１１，２１，２付　强，陈伟平，闫菁敏，尹　亮，刘晓为（１．哈尔滨工业大学ＭＥＭＳ中心，哈尔滨１５０００１；２．微系统与微结构教育部重点实验室（哈尔滨工业大学），哈尔滨１５０００１）摘　要：为实现ＭＥＭＳ陀螺高精度、数字化和小型化，适应惯性导航和测量等领域的应用要求，采用双片集成方式，基于０．５ｕｍ的Ｎ阱ＣＭＯＳ工艺，设计并实现了一款实用化的ＭＥＭＳ陀螺接口电路．设计了基于高频载波的闭环自激驱动电路和低噪声差分敏感检测模拟前级电路，高频信号将敏感信号调制到高频后与闪烁噪声相加，经过开关相敏解调以及低通滤波后得到低噪声模拟角速度输出，并由集成的高分辨率四阶单环一位ｓｉｇｍａｄｅｌｔａＡＤＣ将模拟信号转化成为数字信号，实现数字化输出的硅陀螺接口电路．测试结果表明：ｓｉｇｍａｄｅｌｔａ调制器的动态范围达到１３０ｄＢ，陀螺整机量程为±２００ °／ｓ，带宽为６０Ｈｚ，刻度－１－６－１１／２ × 因子为４６．４５ＬＳＢ／（（°） ∙ｓ）；线性度为３４２１０，输出噪声为０．００４（°） ∙ｓ／Ｈｚ，零偏稳定性为３．４ °／ｈ．通过电路集成实现了小型化、低成本和角速度数字化精确输出，测试结果与其他相关研究对比表明该结构可以得到很好的性能．关键词：数字化系统；硅陀螺；ｓｉｇｍａｄｅｌｔａＡＤＣ；ＡＳＩＣ；低噪声－－－中图分类号：ＴＮ４９２文献标志码：Ａ文章编号：０３６７６２３４（２０１７）１０００９００５Ｄｅｓｉｇｎａｎｄｔｅｓｔｏｆｔｈｅｉｎｔｅｒｆａｃｅｏｆｔｈｅｄｕａｌ⁃ｃｈｉｐｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｄｉｇｉｔａｌｓｉｌｉｃｏｎｇｙｒｏｓｃｏｐｅＡＳＩＣ１，２１，２１１，２１，２ＦＵＱｉａｎｇ，ＣＨＥＮＷｅｉｐｉｎｇ，ＹＡＮＪｉｎｇｍｉｎ，ＹＩＮＬｉａｎｇ，ＬＩＵＸｉａｏｗｅｉ（１．ＭＥＭＳＣｅｎｔｅｒ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ；２．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｉｃｒｏ⁃ｓｙｓｔｅｍｓａｎｄＭｉｃｒｏ⁃ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｏｆＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ（ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ），Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ