一种共聚焦激光测头轴线位置标定方法研究-燕山大学学报.PDFVIP

卷 期 燕山大学学报 年 月 文章编号：1007-791X (2010) 03-0266-03 一种共聚焦激光测头轴线位置标定方法研究 费致根 ，郭俊杰 ，罗国富 （ 西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室，陕西 西安 ； 郑州轻工业学院 机电学院，河 南 郑州 ） 摘 要：针对在非接触式坐标测量机上 用激光测头轴线位置需要标定这一工程需要，通过测量标准圆弧，提 出了一种最小距离评价方法，该方法在评价函数取得极小值的时候可以有效标定激光测头轴线的初始参考零位。 实验结果验证了该方法的有效性与可靠性。 关键词：五坐标测量机；共聚焦激光测头；轴线位置标定 中图分类号：TH741 文献标识码：A DOI：10.3969/j .issn.1007-791X .2010.03.017 法，通过在所开发的一台微型五坐标测量机上的实 引言 验结果，验证了该方法的有效性。 随着坐标测量机各项技术的不断发展，采用非 共聚焦激光测头原理 接触式测头已成为其今后发展的一个重要方向 。 由于非接触测头具有诸多优点： 相比激光三角法测头，共聚焦激光测头的测量 ）可以实现无损测量，特别适合测量那些易 不确定度可达 ，另外，由于其反射光线按 变形、易损坏的工件； 原路返回的特性， 以共聚焦激光测头可以实现盲 孔内部工件的测量，这一点是激光三角法测头无法 ）可以在运动过程中进行测量，大大提高了 比拟的。其测量基本原理如图 所示，激光束通过 测量效率； 一组透镜投射到被测物体表面，再由物体表面按原 ）可以获取接触测头难以感受到的 节信息； 路反射回去经 分光镜通过针孔由激光接收器接 ）可以同时获取大量丰富的信息，如 。 收。由于激光发射器和针孔处于共焦位置，当被测 常用的非接触测头主要包括激光测头和工业 表面处于透镜的焦平面上时，透过针孔由激光接收 测头，其中近几年来共聚焦激光测头由于其 器接收到的光强最大，当被测表面远离透镜焦平面 很高的测量精度，可达 ，得到了较快发展。 时，透过针孔的光强迅速减小，可见其有很高的灵 关于激光测头轴线位置标定的文献资料非常少，文 敏度。但其测量范围非常小，为了增加其量程，引 献 介绍了一种采用位置灵敏探测器 入了振动音叉结构，振动的音叉通过不断调节透镜 作为光电位置传感器，通 焦平面的位置，当透过针孔的光强最大时，通过高 过合理安装 的位置，让激光测头沿 轴上下移 精度传感器锁存此时音叉的位置，就得到了被测物 动并做回转运动，根据标定好的 输出读数调 体的高度。 整激光测头位置从而达到标定其轴线位置的目的。 实验平台介绍 该方法简单易行，但其轴线偏心标定精度只有 。本文针对坐标测量机上激光测头轴线位置需 本实验 用平台为西安交通大学精密工程研 要标定这一实际需要，提出了一种最小距离评价方 究 研制的微型五坐标测量机系统， 、