特殊气体管路施工规范标准[详].pptVIP

* 測試項目 規定氣體 測試壓力 測試時間 氣體測試 N2 8kg/cm2(或依業主規定) 24小時 　　（7）做次測試時,首先計值充入管線中以10分鐘或更久些,然後才開始做記錄, 　　　 　以避免產生誤差。 　　（8）做氣密記錄測試時,必須使用讀出型壓力計做資料記錄。在規定的壓力 　　　　 和規定的保持時間後,管線上的壓力沒有顯示下降,亦即從試壓開始測試 　　　　 的壓力和完成測試時的室溫亦不同時,無論如,必須使下列式子做溫度係 　　　　 數的校正,來決定測試完成時,壓力錶所獲得之數值能保持在開始時所記 　　　　 錄的98%以上,則此測試值被認可為通過測試。 　　（9）未接受試壓部份,如安全閥、控制閥、壓力計等,均應接受氣密試驗。 　　　　 氣密試驗的壓力以不超過該組件的最大許可操作壓為限。 * 4、氣體管路流程檢查 　　此項目之測試依下列步驟為之: 　　（1）將所有氣體管路的末端閥打開。 　　（2）列出(各種特殊氣體管路應到遠的末端閥的歸納表)關閉所試特殊氣體 　　　　 管路的末端閥。 　　（3）由所欲測特殊氣體以N2充壓該管路至一定壓力,並觀察五分鐘,視壓力 　　　　 計是否有下降現象。 　　（4）若壓力計無下降,即代表管路無錯接現象。若無下降現象打開欲測特 　　　　 氣體管路末端閥,判斷壓力計是否會下降至零,若降至零代表壓力計無 　　　　 問題。 5、測漏檢驗 　　（1）特殊氣體配管,管做完上述測試後將管路抽真空,以HE氣做測漏率的測 　　　　 試。 　　（2）本公司使用為BALZER HLT 160 HELIUM LEAKDETECTOR設備。 　　（3）本公司設備測漏率可達到-1*10-11 atm.cc/sec。　 * 　　（4）測試標準1*10-8 mBar L/S2*10-9 atm.cc/sec In board或業主規定 　　（5）本公司有支援設備相同機型的提供廠商—漢疆股份有限公司。 操作說明及注意事項： 　　（1）在開機前,應先平穩放置不得傾斜。 　　（2）開機後,不得隨意移動。 　　（3）關機後,必須聽到VENT氣聲或3-5分鐘後,方可移動或重新開機。 　　（4）在開機前,須確定電壓是否正確(110V/220V) 　　（5）電壓頻率選擇於60HZ。 　　（6）本機係屬於精密電子儀器,故必須使用有接地的插頭。 * 6、微氧分析 測試程序 　　 　　　　　　注 意 事 項 　 選用氣體 測試設備熱機 清淨管路 測試 結束 YES NO a、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經過純化器濾過氮氣 或同等純度之氣體。 a、微氧分析儀開機後,必須熱機20分鐘才可銜接管路測試。 a、將測試管路或盤面進氣孔接上氣源。 b、將測試管路盤面上,所有閥件全部打開。 c、使用設計壓力之氣源來Purge所要測試之管路。 d、此Purge程序需維持30分鐘以上。 a、氣體於接上設備前必須將銜接測試管路Purge5分鐘。 b、經過Purge的銜接測試管路,銜接上微氧分析測試儀後,打 　 開微氧分析儀後,打開微氧分析儀電源進行測試。 c、測試時依微氧分析儀測試數值的狀況,同時進行測試與 　 Purge直到測試值達到標準數值(50 PPB)以下,才合格。 a、需測試姞果記錄於微氧分析測試記錄表,以作日後追 　 溯與識別用的。 * 7、水份分析 測試程序 　　 　　　　　　注 意 事 項 　 選用氣體 清淨管路 測試 結束 YES NO a、使用氣體氧分純度必須50PPB以下或經過純化器濾過 　 氮氣或同等純度之氣體。 a、將測試管路或盤面進氣孔接上氣源,將測試管路或盤面 　 所有,所有閥件全部打開。 b、使用設計壓力氣源來Purge測試之盤面管路。 c、此Purge程序需維持30分鐘以上。 a、氣體管路於銜接水份分析儀SENSOR前,必須將銜接測試 　 管路Purge5分鐘,讓銜接測試管路內之水份隨Purge氣體流 　 出。 b、並聯氣體管路之出氣口至水份分析儀SENSOR樣品取樣 　 進氣口。(注意:氣體管路之出氣口銜接水份分析儀 　 SENSOR時,Purge氣體必須在流通的狀況下,且水份分析 儀必須在開機的狀況下) c、測試時依水份分析儀測試數值的狀況,同時進行測試與 Purge直到水份分析儀測試值達到標準數值(10PPB)以下。 a、需將測試結果記錄於水份分析測試記錄表上，以作 　 日後追溯與識別用。 * 工　　安　　規　　範 一 般 守 則 a、請於施工前五天向工安部申請施工許可。 b、不可將逃指示燈及緊急照明燈取