基于条纹畸变方法检测掠入射抛物面镜面形的研究-光学工程专业论文.docxVIP

II II 基于条纹畸变方法检测掠入射抛物面镜面形的研究 摘要 摘 要 目前对 X 射线掠入射抛物面镜研究较多的是其成形控制机理，而对其面形检测的 研究仍然处于探索阶段。本文深入探讨了一种基于条纹反射对抛物面镜简单又高效的 测量方法。利用 PC 机显卡的双屏功能，在其中一个显示器上显示计算机产生水平和 竖直的两种情况下的正弦条纹图样，通过 CCD 采集待测镜反射而变形的条纹图样，并 且利用四步相移法计算出相应的相位变化。然后，利用枝切法对四步相移法计算出的 包裹相位进行展开。再由成像原理推导出梯度与相位变化的对应关系。由于得到的梯 度场为离散梯度，需要通过数值积分（本文利用的是傅里叶变换积分法）重建面形， 从而完成对抛物面镜面形的测量。 本文首先对实验进行模拟。主要分为两部分：第一，利用计算机实现和验证四步 相移，相位展开，面形重建的关键算法。第二，模拟整个实验流程，即从变形的条纹 重建出面形。然后，搭建了实验测量系统，对掠入射抛物面镜进行面形实测，采集到 竖直与水平条纹，然后进行面形重建。验证了测量方法的可行性。并且分析了各种误 差源对测量精度的影响。 与传统的干涉测量相比较，该方法拥有成本低，结构简单，灵活度高等优点。 随着CCD和显示器分辨率的提高，测量精度会进一步的提高，因此该方法拥有广阔的 应用前景。本文工作为进一步的研究X射线抛物面镜面形测量提供了一定的理论和技 术基