表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响.PDFVIP

表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响.PDF

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26 6 V ol126 N o16 2005 12 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE D ec. , 2005 : 1000-70 32 2005) 06-0777-04 表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响 * 闫小龙, 刘大力 , 石增良, 董 鑫, 高忠民, 杜国同 , , 1300 12) : M OCVD c ZnO , ZnO XRD , 325 nm H e-Cd ZnO , ZnO HL5500 H all System ZnO ZnO , , ; , : ZnO ; ; : O 4721 3; O 482. 3 1 PACC: 6 150C; 7855 : A , , 1 引 言 : 5 m in, 5 m in, ZnO , 5 m in, 3. 36 eV, 5 m in 160 e V(H SO ) BV H PO ) = 2 4 3 4 60 m eV ) [ 1] , 3B1 10 m in, ZnO , N2 , MO CV D [ 2] [ 3 ] DEZn) , 300 e ZnO GaN , DEZn), GaN , ZnO : 590 e , ZnO , PLD) - M BE ) MOCVD ) [ 4~ 9] , MO CV D , , MO CV D ZnO MODVD c, 2 实 验 1MOCVD DEZn O2 1 MO CV D c ZnO F ig. 1 R eaction equ ipm ent of M OCVD. : 2004-08-25; : 2004- 11-24 : / 8630 200 1AA 311130) : 1978 - ) , , , , ZnO M O CVD * : ; E-m ail: ld l@ m a i.l jlu. edu. cn, T el: 0431) 5 168270 77 8 26 DEZn) - 18 e , 0. 18b, 160, 670, 2 sccm, 190 Pa , A l O 2 3 ,

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