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26 6 V ol126 N o16
2005 12 CH INESE JOURNAL OF LUM INESCENCE D ec. , 2005
: 1000-70 32 2005) 06-0777-04
表面预处理对氧化锌薄膜质量的影响
*
闫小龙, 刘大力 , 石增良, 董 鑫, 高忠民, 杜国同
, , 1300 12)
: M OCVD c ZnO ,
ZnO XRD ,
325 nm H e-Cd ZnO , ZnO
HL5500 H all System ZnO ZnO
, , ; ,
: ZnO ; ;
: O 4721 3; O 482. 3 1 PACC: 6 150C; 7855 : A
, ,
1 引 言
: 5 m in, 5 m in,
ZnO , 5 m in,
3. 36 eV, 5 m in 160 e V(H SO ) BV H PO ) =
2 4 3 4
60 m eV ) [ 1] , 3B1 10 m in,
ZnO , N2
, MO CV D
[ 2] [ 3 ]
DEZn) , 300 e
ZnO GaN , DEZn),
GaN , ZnO
: 590 e ,
ZnO
,
PLD) -
M BE ) MOCVD )
[ 4~ 9] , MO CV D ,
,
MO CV D
ZnO MODVD
c,
2 实 验
1MOCVD DEZn O2 1 MO CV D
c ZnO F ig. 1 R eaction equ ipm ent of M OCVD.
: 2004-08-25; : 2004- 11-24
: / 8630 200 1AA 311130)
: 1978 - ) , , , , ZnO M O CVD
* : ; E-m ail: ld l@ m a i.l jlu. edu. cn, T el: 0431) 5 168270
77 8 26
DEZn) - 18 e , 0. 18b,
160, 670, 2 sccm, 190 Pa , A l O
2 3
,
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