基于微液滴介质的微型静电式振动发电机关键技术研究-仪器科学与技术专业论文.docxVIP

重庆大学硕士学位论文1 重庆大学硕士学位论文 1 绪 论 PAGE PAGE 10 1 绪 论 微机电系统（MEMS）具有微型化、批量化、集成化和多学科交叉性等特点， 融合了当今科学技术发展的许多尖端成果[1]。随着微电子技术、MEMS技术、通信 技术的快速发展，无线传感器网络、便携设备、嵌入式系统等得以快速发展，体 积越来越小，功耗越来越低。但由于微能源技术研究严重滞后，上述系统仍采用 传统电源，其体积大、寿命短、可靠性低的问题逐渐凸显，并严重限制了系统的 进一步微型化。因而小体积、长寿命和高可靠性的MEMS微能源已成为当前国内 外研究的热点。 1.1 国内外研究现状 无线传感器网络[2,3]、大型设备故障诊断、生物植入装置或嵌入式监测装置等 对能源提出了体积小、寿命长、能量密度高的要求。目前化学能电池存在体积大、 能量密度有限、可靠性低、需要定期更换或充电等问题，无法满足上述微小型器 件或无人值守设备对能源的需求。MEMS微能源的出现为其提供了解决的技术途 径[4~8]。 基于MEMS技术的微能源具有体积小、寿命长、功率密度大等优点，可以满 足无线传感器及无线传感器网络、植入式传感器系统、便携式个人电子设备等对 微能源的迫切需求，受到了国内外的高度重视。美国将MEMS微能源（微型发电 机等）列入一系列重大计划，如：美国先后启动了MEMS POWER GENERATION、 多能源环境供能系统和环境微能源供能系统等计划；欧洲也高度重视MEMS微能 源的研究，将其列入欧盟第六框架计划。我国在“十五”末期，也将微能源列入 国家“863”计划。在各国的大力支持下，微型燃料电池、热电池、太阳能电池、 核电池、蓄电池和微型发电机等多种微能源得到了迅速的发展。 微能源主要分为两种：基于化学效应的微能源和基于物理效应的微能源。 基于化学效应的微能源主要有微型化学电池[9,10]、微型燃料电池[11-13]、微型锂 电池[14]等。其优点是能量密度高、输出功率大等，但存在电池需要更换或充电， 燃料需要补充、维护困难、环境污染等问题，在某些应用场合（例如无人值守的 植入和分布式系统）并不适用。 基于物理效应的微能源一般是将太阳能、风能、振动能、热能等转化为电能。 主要有微型太阳能电池、微型核电池、微型温差发电机和微型振动发电机等。微 型太阳能电池[15,16]具有成本低、绿色环保、便于大规模生产等优点，但其工作效 率受天气、地域等因素的影响较大，能量转换效率较低；微型温差发电机[17,18]具 有性能稳定、体积小等优点，但自然环境中难以在较小空间内获得较大温差，能 量转换效率较低，输出功率很小；微型核电池[19,20]具有使用寿命长，转换效率高 等优点，但存在输出功率过低、安全性差等问题，短期内难以实用。上述微能源 都难以满足无线传感网络节点、嵌入式微系统等无人值守系统对电源的高要求。 机械能是环境中广泛存在的能量之一，将外界环境振动能转换为电能的微型 振动发电机是近年来各国科学家研究的重点。研究表明，在无法实现电池充电或 燃料更换等使用条件受限的情况下，微型振动发电机具有巨大的应用前景。 微型振动发电机[21-32]通过拾振装置获取环境中的振动能，利用电磁、静电、 压电等效应将其转换成电能，具有体积小、寿命长、安全、环保等优点，在大型 装备状态监测系统、无线传感器网络等军民两用领域中具有广阔的应用前景。目 前国内外对微型振动发电机的研究主要有电磁式、压电式、静电式三种类型。 ① 微型电磁式振动发电机 微型电磁式振动发电机主要由线圈和永磁铁等构成。永磁铁在外界振动激励 下与线圈产生相对运动，基于电磁感应原理，线圈中的磁通量发生变化，在线圈 中产生感应电动势，通过闭合回路产生电流，实现振动能到电能的转换[21-25]。 2007 年南安普顿大学研发的微型电磁式振动发电机[22]，采用抗疲劳强度高的 铍铜作为悬臂梁，体积约为 152mm3。当加速度为 0.6ms-2，振动频率为 52Hz 时， 输出功率为 58μWrm（s 387μW/cm3）。设计了微型发电机的电源管理电路，采用 0.047F 的超级电容储能，可以实现加速度传感器 ADXL330 以 3s 为一个周期传送数据， 如图 1.1 所示。 图 1.1 微型电磁式振动发电机(南安普顿大学) Fig 1.1 Micro-electromagnetic vibration generator （Southampton University） 2009 年 Dibin Zhua，Stephen Robertsb 等人设计出一种固有频率可调的微型电 磁式振动发电机[25]。通过调节永磁体与质量块之间的距离改变发电机的固有频率。 当加速度为 0.59m/s2 时，在工作频率