基于声表面波技术的无线无源温度传感器研究-机械工程专业论文.docxVIP

Classified Index: TP212.11 U.D.C: 621 Dissertation for the Master’s Degree of Engineering RESEARCH ON PASSIVE AND WIRELESS TEMPERATURE SENSOR BASE ON SURFACE ACOUSTIC WAVE TECHNOLOGY Candidate： Cao Fang Supervisor： Prof. Hu Hong Academic Degree Applied for： Master’s Degree of Engineering Speciality： Mechanical Engineering Affiliation： Shenzhen Graduate School Date of Defence： December, 2014 Degree-Conferring-Institution： Harbin Institute of Technology 摘 摘 要 -I- -I- 摘 要 伴随着当代科学的发展，工业上对于环境温度监测的要求也随之提高，需要 传感器适应复杂多变的监测环境。配电箱是电力系统电力传输的重要环节之一， 它长期高负荷的运转、工作会使大量电能转化为热能，进而造成局部元器件的发 热，带来严重的安全隐患。因此对其进行无线无源的温度监测对于预防安全隐患 具有重要的意义。声表面波（SAW）温度传感器具有精度高、体积小、校准周期 长等特点，并且能长期在高温、高压等恶劣环境下工作，这使其在电力系统中得 到广泛的应用。 本文的研究目的是设计制作一款精度高、可靠性强、品质因数高的无线无源 SAW 温度传感器终端，并对它的分析、设计、仿真和试验方法进行研究。本文分 析了 SAW 温度传感器的基本原理，确定了传感器的基本类型与主要研究方法；研 究了声表面波在压电基底上的传播，推导了声表面波的克里斯托费尔方程，通过 MATLAB 软件编写仿真程序计算了声表面波在铌酸锂上各个方向的传播速度，并 以此为依据设计了谐振器。本文还探究了基于耦合模理论的谐振器的仿真方法， 完成了仿真运算程序的编写，优化了参数的提取方法，实现了对谐振器导纳和散 射参数的模拟；改善了谐振器版图的绘制方法，应用程序生成的方法替代了建模 软件方法绘制版图，提高了版图绘制的准确性与效率；完成了传感器的外观设计； 研究了谐振器的频率特性和散射特性，分析了不同结构对其的散射曲线的影响， 标定了传感器的温度参数，分析了传感器的温度灵敏度与滞回特性。 本文对声表面波温度传感器终端进行了设计研究，应用的仿真方法与开发的 谐振器也适用于其它应用领域的 SAW 传感器，得到的结论对 SAW 温度传感器的 研发具有一定的实践意义。 关键词：声表面波；温度传感器；谐振器；COM理论；S参数 Abstract Abstract -II- -II- Abstract With the development of modern technology, the requirement for environmental temperature measurement also increases, so the temperature sensor needs to be optimized in order to satisfy the complicated environments. Power distribution box is one of the most important parts in the power transmission system. The high temperature due to its long working time could cause a lot of heat from the conversion of electric energy, which could lead to the safety problem. As a result, it is meaningful to monitor the temperature of the power distribution box. The surface acoustic waves (SAW) temperature sensors have the advantages of small size, high accuracy and good calibration stability. Moreover, they can work in harsh environment such as high t