基于F_P腔强度解调的微位移传感器.pdfVIP

第 卷 第 期 ， ｌ．３４ Ｎｏ．６ ３４ 　 ６ 光 学 学 报 Ｖｏ 　 　 　 年 月 ， ２０１４ ６ ｎｅ １４ ＴＡＯＰＴＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｊｕ ２０ ＡＣ 　 　 　 基于ＦＰ腔强度解调的微位移传感器 － 李春成 王 鸣 夏 巍 刘 强 郝 辉 　 　 　 　 　 　 　 　 （ ， ） 南京师范大学物理科学与技术学院 江苏省光电技术重点实验室 江苏南京 ２１００２３ ， （ ） 。 摘要 基于一次谐波腔长锁定技术 设计了一种基于法布里 珀罗 腔干涉的强度解调型微位移传感器 系 － ＦＰ 　 － 统对 ， ， ＦＰ腔的初始腔长进行动态锁定 通过将 ＦＰ腔腔长的微小变化转化为强度信号 实现直接快速地对待测目 － － 。 ， 标的微位移进行测量 详细地阐述了位移传感器的理论模型及一次谐波锁定 ＦＰ腔腔长的技术方案 实验中采用 － 商用的高精度压电陶瓷平移台（ ） ， ， ／ （ 为光 Ｐ 模拟了实际物体的运动状态 实验结果表明 该系统对峰峰值在 ４ 波 ＺＴ λ λ ） 、 ， ， 。 波长 以内 频率不高于 ４０ 的微位移有很好的测量结果 频率误差小于 测量精度小于 ０ Ｈｚ ０．５ Ｈｚ １ｎｍ ； ； ； ； 关键词 传感器 法布里