中兴大学物理系电子显微镜试验室.DOC

第 頁中興大學物理系低溫高磁實驗室 第 頁 NPGS實驗記錄 使用人： 日期： 開始使用時間： 結束使用時間： Beam Blanker Aperture (diameter): □no aperture □200?m □100?m □50?m □30?m Aperture (diameter): □no aperture □200?m □100?m □50?m □30?m Minimum Working distance: Maximum Gun Voltage: Sample 1 Sample 2 Sample 3 Substrate Photo resist Spot size Measured beam current Dosage □Point□Line□Area □Point□Line□Area □Point□Line□Area Center to center Line space 請注意確認： 1.使用前，按程序將控制電路打開。2.使用後，將控制電路關掉。 異常狀況及維修記錄： 中興大學物理系低溫高磁實驗室 NPGS實驗記錄 使用人： 日期： 開始使用時間： 結束使用時間： 1.Beam Blanker Aperture (diameter): □no aperture □200?m □100?m □50?m □30?m 2.Aperture (diameter): □no aperture □200?m □100?m □50?m □30?m 3.Minimum Working distance: 4.Maximum Gun Voltage: Sample 1 Sample 2 Sample 3 Substrate Photo resist Spot size Measured beam current Dosage □Point□Line□Area □Point□Line□Area □Point□Line□Area Center to center Line space 請注意確認：1.使用前，按程序將控制電路打開。2.使用後，將控制電路關掉。 異常狀況及維修記錄：