立式液体静压主轴的设计及温度场分析＊DesignandThermalFieldAna.PDF

年 月 润滑与密封 Ｆｅｂ．２０１３ ２０１３ ２ 第 卷第 期 ３８ ２ ＬＵＢＲＩＣＡＴＩＯＮ ＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｖｏｌ．３８Ｎｏ．２ 　 ： ／ ＤＯＩ １０．３９６９ ．ｉｓｓｎ．０２５４－０１５０．２０１３．０２．００２ ｊ 立式液体静压主轴的设计及温度场分析＊ 孙久伟 张飞虎 付鹏强 张 强 张 超 　 　 　 　 　 　 （ ） 哈尔滨工业大学机电工程学院 黑龙江哈尔滨 １５０００１ 　 檿 ： ， 檿 摘要 目前国内外大口径ＫＤＰ 晶体加工都采用立式空气静压主轴超精密飞切机床加工 但立式空气静压主轴存在 檿 、 。 ， ， 檿 阻尼低 抑振困难的缺陷 利用液体的高阻尼特性 设计出采用大止推盘的立式液体静压主轴结构 研究止推油膜厚度 檿 檿 檿 。 ： ， ， 檿 和偏心量对立式主轴的最高温升及承载力的影响规律 结果表明 随着油膜厚度的减小 温升量和承载力逐渐增大 且 檿 ； ， ， 檿 增大的越来越快 主轴温升主要出现在轴承油膜区域 同时由于结构和散热条件的影响 止推轴承区域的温升明显高于 檿 径向轴承区域温升。 檿 檿 檿 檿 ： ； ； 关键词 超精密飞切机床 液体静压主轴 温度场 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ１３３．３ Ａ ０２５４－０１５０ ２０１３ ２－００５－４ 　 　 ＤｅｓｉｎａｎｄＴｈｅｒｍａｌＦｉｅｌｄＡｎａｌｓｉｓｏｆＶｅｒｔｉｃａｌＨ ｄｒｏｓｔａｔｉｃＳ ｉｎｄｌｅ 　 　 　 　 　 　 　 　 ｇ ｙ ｙ ｐ ＳｕｎＪｉｕｗｅｉ Ｚｈａｎ Ｆｅｉｈｕ ＦｕＰｅｎ ｉａｎ Ｚｈａｎ Ｑｉａｎ Ｚｈａｎ Ｃｈａｏ 　 　 　 　 　 　 ｇ ｇｑ ｇ ｇ ｇ ｇ