硅压阻式压力传感器高精度温度补偿技术研究-电子与通信工程专业论文.docxVIP

万方数据 万方数据 分类号 密级 UDC 注 1 学 位 论 文 硅压阻式压力传感器高精度温度补偿技术研究 （题名和副题名） 欧阳承曦 （作者姓名） 指导教师 武保剑 教 授 电子科技大学 成 都 郑瑞雪 高 工 成都凯天电子股份有限公司 成 都 （姓名、职称、单位名称） 申请学位级别 硕士 专业学位类别 工 程 硕 士 工程领域名称 电子与通信工程 提交论文日期 2015 年 10 月 论文答辩日期 2015 年 11 月 学位授予单位和日期 电子科技大学 2015 年 12 月 答辩委员会主席 评阅人 注 1：注明《国际十进分类法 UDC》的类号。 Precision Temprature Compensation Technology Research of Silicon Piezoresistive Pressure Sensor A Master Thesis Submitted to University of Electronic Science and Technology of China Major: Master of Engineering Author: Ouyang Chengxi Supervisor: Professor Wu Baojian school: School of Communication Information Engineering 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作 及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方 外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为 获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与 我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的 说明并表示谢意。 作者签名： 日期： 年 月 日 论文使用授权 本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文 的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘， 允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全 部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描 等复制手段保存、汇编学位论文。 （保密的学位论文在解密后应遵守此规定） 作者签名： 导师签名： 年 月 日 摘要 摘要 摘 要 作为一种受到广泛应用并且发展迅速的新型传感器，硅压阻式压力传感器具 备以下特点：高精准度、高灵敏度、高稳定性、宽工作频率范围、易于方法简便、 易于生产。然而，压阻式压力传感器受到半导体温度特性影响，会存在温度漂移， 从而在一定程度上限制了此传感器的运用及推广。 为了解决易发生温度漂移的缺陷，论文就压阻式压力传感器开发了两套智能 温度补偿系统。该套系统以现代信号处理技术为基础理论，以温度调芯片为核心 原件，使用高性能数字信号处理器控制模块，采用三次样条插值的方法进行温度 补偿参数进行拟合，对压阻式压力传感器的这一缺陷进行了精准的补偿。 论文的主要内容如下： 1. 分析了硅压阻式压力传感器产生温度漂移原因，比较了国内外对扩散硅压 力传感器进行温度补偿的方法，建立了数字和模拟两种补偿机制。 2.经过对 MAX1452 温度调理芯片补偿理论的一系列探讨和研究，确立了智能 温度补偿系统的方案计划，并进行了推导论证。在遵循整体方案要求的前提下， 设计了详细的方案。 3.设计了基于 DSP 芯片配合使用软件算法进行温度补偿处理的压力检测系统 理。根据温度传感器提供的温度参数，利用多项式曲线拟合软件算法和牛顿内插 组合法对测量数据的补偿处理。 4. 将 基 于 MAX1452 温 度 调 理 芯 片 制 成 的 传 感 器 、 基 于 DSP 芯 片 TMS320LF2407 制成的传感器和不经过温度补偿的传感器测量到的值进行对比分 析，两种传感器的测量精度比没有温度补偿时均大幅度提高，实现了在恶劣的环 境下的精确测量。 关键词： 压阻式压力传感器 温度漂移 温度补偿 DSP I ABST ABSTRACT ABSTRACT As a widely applied and rapidly developed new sensors, piezoresistive pressure sensor has the following characteristics: high accuracy, high sensitivity, high stability, wide frequency response range, can be more easily miniaturized and for mass production. However, pie