驱动微型节流制冷机的压缩机.PDF

驱动微型节流制冷机的压缩机 曹海山，李俊明 （清华大学，北京 100084） (Tel: 010 Email: haishancao@tsinghua.edu.cn) 摘 要：MEMS技术为节流制冷机的微型化开辟了新的方向，但现阶段，微型节流制冷机还主要依靠体积相对庞大的气瓶 来提供高压气源。这样的开式制冷系统整体体积庞大，在很大程度上限制了微型节流制冷机的应用潜力。若要减小制冷系统 整体体积，需要与微型节流制冷机相匹配的微型压缩机来为其提供高压气源，从而实现紧凑的闭式制冷系统。本文介绍了可 用于驱动微型节流制冷机的吸附式压缩机的工作原理、研究现状和发展趋势。 关键词：节流，微型制冷机，吸附，压缩机 COMPRESSORS FOR MICROMACHINED JOULE-THOMSON CRYOCOOLERS Cao Haishan Li Junming (Department of Energy and Power Engineering, Tsinghua Jiaotong University, Beijing 100084) Abstract MEMS technology pens up a new method for the miniaturization of Joule-Thomson (JT) cryocoolers. However, JT mirooolers are mainly driven by using relatively large high-pressure gas cylinders at present. This type of open-loop cryogenic systems have large volume, which inherently restricts the potential applications of microcoolers. To reduce the system volume, it is required to have miniature compressors that match JT mirocoolers to provide high-pressure gases, closing the cryogenic systems. This paper introduces the working principle, research status and future development of sorption compressors for driving JT mirocoolers. Keywords Joule-Thomson Mirocooler Sorption Compressor 0 前言 低温制冷技术为很多前沿科学的发展提供了可能性。一方面，在科学实验工程（如超导高能加速器和 超导磁约束聚变装置等）、空间技术、能源等领域的大型应用仍方兴未艾；另一方面，在电磁探测（如红 外和射电探测等）、科学仪器、医疗设备等领域的微小型应用对低温制冷技术提出了更高的要求。图1 给 出了部分微小型应用所需要的制冷温度和制冷量的范围，包括：用于组装快速数字电路的低/高温超导体电 子器件，用于探测微弱的磁场信号的低/高温超导体量子干涉仪，用于放大信号的基于砷化镓的电子器件， 用于探测射电频谱的高电子迁移率晶体管，用于分析材料成分、结构等的X 射线探测器，用于提高互补金 属氧化物半导体的运行速度、降低其热噪音，以及低温物性研究等。需要说明的是，图1 中给出的应用所 需要的制冷量和制冷温度不一定固定在图1 中所给出的值。对某一应用而言，其所需要的制冷量有一部分 用于器件本身的消耗，还有一部分用于弥补器件辐射、引线等造成的热损失。要实现这类微小型应用的有 效匹配制冷，就需要研发与其在尺寸和制冷量两方面都相匹配的微小型低温制冷系统。 1 微型节流制冷机 基于 MEMS 技术的微型节流制冷机具有结构紧凑、无振动、无电磁干扰且可以和被冷却器件完美耦 合等优点，在低温电子器件冷却和低温材料科学研究中受到了广泛关注。这