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六、化学管路二次配管施工规范 工程范围 材料及施工标准 施工时间 施工规范 PVC配管 PFA管施工要领 SUS配管施工要领 信号测试 一 工程范围： 化学管路由已安装完成之阀箱中阀的出口端将管路及讯号线安装至使用机台的入口端，以此范围之二次配管工程为主。 二 材料及施工标准： 管材： A.Model I 化学品种类：溶剂类(IPA、EBR) 管路材质 ：SUS316L BA管。 配管方式 ：单层管。 弯管方式 ：Elbow 管 径 ：3/4” 接管方式 ：阀箱出口端：以VCR或相同之其它方式接管。 机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。 B.Model II 化学品种类：DHF,BHF,ITO-Etch 1,ITO-Etch 2,AL-Etch,Cr-Etch,TMAH 管路材质 ：PFA管 / 40A C-PVC管。 配管方式 ：双层管。 弯管方式 ：直接弯管(不用Elbow)。 管 径 ：内管为1” AND 3/4”PFA管。外管为40A C-PVC管。 接管方式 ： 内管：阀箱出口端：扩管式。 机台入口端：只预留在机台内，不接管，由设备自行衔接机台。 外管：阀箱出口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。 机台入口端：使用40A C-PVC SOCKET固定。 C.Model III 化学品种类：Corrosive solvent (Stripper-1,Stripper-2) 管路材质： SUS316L EP管。 配管方式：單层管。 弯管方式：直接弯管(不用Elbow)。 管径： SUS316L EP管。 接管方式： 外管：阀箱出口端：使用Clamp固定。 机台入口端：使用40A JIS 10K Flange固定。 讯号： 使用机台提供之讯号：需求讯号。 供酸系统提供之讯号：系统供酸正常讯号。 讯号线材质：PVC 绝缘线。 外加导线管做保护。 施工之标准程序： GSMC厂务在三天前发Inform sheet 给UIS。 UIS在接到Inform sheet后一天内通知下包，二天内安排下包至现场确认施工范围及施工现场，并列出所需之PARTS。 在Location Check的同时，Inform sheet 检查出POU Valve Box及讯号是否已拔除。 进场施工当天早上09:00先与下包确认工作内容。 管材及工具在现场前，应先以IPA擦拭干净。 AM 09:30至现场施，先通知GSMC厂务人员，请其陪同施工，同时确认施工所需之电力、CDA、N2、吸尘器等之接头位置，并经GSMC人员认可。 再次确认POU Valve Box 之位置及讯号线是否拆除。 请陪同之厂务人员通知设备人员及化学房值班人员要开始接管工作，请其配合注意施工期间是否有任何异状。 开始配管工作： PFA配管： 先配40A C-PVC外管，配管时三人一组(一人在C/R，一人在管架上，一人在地面上整理管子及支持)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等。 配管先出Valve Box(以Bore through固定)后，垂直向上后沿地板下之 Support至机台→沿线以绑线带固定，但需注意勿挡住”人孔”，入机台时一样以Bore through固定。 入机台前需在外管上标示Chemical之种类。 穿入3/4”PFA 内管，一边插入并一边擦拭内管，在机台内留1M长之Tube ，而Valve端则扩管后接上。 将讯号线沿PFA管拉至机台后方，并确认其编号。 SST配管： 配管时三人一组(一人在C/R，二人在Plenum做焊接及组装)，施工时需戴手套、安全帽、安全带、制服等→以VCR做标准连接。 先试烧SAMPLE，经在场UIS监工人员及GSMC Hoook up team确认后，记录其数值，再开始焊接。 配管时，先垂直向上，至地板下再沿SUPPORT固定，(以固定夹固定)注意需避开”人孔”。 在焊接处及入机台处需标明Chemical种类。 接至机台之point size需与厂务确认。 将讯号线拉至机台后方，(沿管线拉线，并以绑线带固定)，并确认其编号。 做保压测试(7Kg/cm2, 24hrs) 将卷标挂上。 整理环境，并收集废弃物。 完成自主检查表之各项检查，并签名。 CM会议中，确认讯号测试及供酸日期。 讯号测试： GSMC厂务在二~三天前通知UIS人员讯号测试。 测试人员至现场LOCAL PANEL准备并CHECK SIGNAL NO. LIST，同时通知GSMC Hook up team 及UIS SE到场一同测试，(由GSMC FAC与GSMC 之E.E人员联络，UIS人员负责讯号之检测)同时并通知值班人员。 UIS负责将测完之讯号线作连接。 开POU阀： 先确认已做完讯号测试。 确认各接