光学自由曲面原位测量系统的研究-测试计量技术及仪器专业论文.docxVIP

t t、 摘要 1 11随着国防、航空航天等领域的飞速发展，光学自由曲面作为其核心关键零件， 越来越受到重视，各种应用需求对其面形精度也提出越来越高的要求。原位测量 可以避免重复装卡引入的误差，是提高光学自由曲丽而形精度的意摆手段，对于 提高加工效率、实现加工过程自动化具布意要意义。然而由于面形复杂性，光学 自由曲回原位测盘一直是超精密加工领域的难题。本文设计开发了…套基于超精 密机床的光学自由曲回原位测量系统，其测头由气浮导轨和激光干涉仪组成，实 1 11 本文核心内容主票包括两部分，第一部分是原位测量系统的研制，第二部分 是测量路径算法和数据采集软件的研究.论文的主要改进及创新如下 z (1)研制了可利用气压调节测量力的新型气浮测头，实现了 80吨f 的微小 测量力，井能够使测量力保持一恒定值，解决了接触测量中测量力易随测最位置 变化而变化的难题: (2) 提出了与加工路径相同的螺旋测量路径，避免了曲面建建，减少了补 偿加工的工作景，并对测头半径补偿问题进行了深入研究: (3 )开发了数据来集专用软件，实现了测量数据与撒标数据的同步输出， 解决了非回转自由曲回测量的难题: (4)完成了整个自由曲而原位测量系统的研制，本系统体积较小，安装灵 活方便。 研制的自由曲而原位测最系统量程 3.5mm，测量精度可达亚微米级，可实现 非回转自由曲丽的测量，具有输出钱性、测最力恒定、漂移小等优点，本文利用 也 该系统进行了双正弦自由曲面的实验，验证了测最系统的精度与实用性. ，.，蝇、 吗 关键词z 超精密加工，自由曲丽，原位测量，气浮测头 ABSTRACT W灿it由h the rap诅 development of巾d.e岛f社切n阳s吼e， aero叩a邸ce and o由th缸er 缸e瞄盹，叩0p邸t 如阳al f企te伺e巾- 岛rmsuur伽e鸟， which 扭is a key p刷art of由theω町 c∞ore，吼 1踊sbecωom盹in吨g more and more im伊port皿删t，and 伽 various applic创ions n创 also demand hi矶时 surface 部ωracy. The in-situ measurement is an important means 阳 improve the form al∞uracy of 、 optical free巾rm surface，because 如 not only can avoid the rep倒 installation error， but also can improve the machining efficiency and achieve pro∞部 automation. 、 However，如is difficult toωnduct the in-situ measurement for optical free-晶rm surface due to the shape complexity. An i卧situ measurement system of optical 企仲form bωed on the ultra伊ecision machine is develop创迦 this pap时 whose probe head is ∞m阴阳d of air bearing and laser interferometer ，and it can reallze the synchronous acquisition of 伽 machine coordinates and surface measurement data quickly and accuratel:予 The core ∞ntents ofthe paper involve two parts: one is the development ofin -si阳mea阳ement system， and the oth町 is the research of measuring path algorithm and data acquisition software. Main innovation and improvement ofthe 副ssertation areω 岛llows: (1)Anew type ofprobe head is developed which 咐usts mea阳ing force through 也.e air pressure ，and a minimum measuring 岛rce of about 80mg