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12 Vol. 28 No. 12
2000 12 ACTA ELECTRONICA SINICA Dec. 2000
石艳玲, 于丹丹, 董兴其, 赖宗声
( , 200062)
: , ,
, ,
3550 75120 .
: ; ; ;
: TN62 : A : ( 2000)
Analysis of t he Characteristic Impedance of Micromachined
Microwave Transmission Lines with FEM
SHI Yanling, YU Dandan, DONG Xing i, LAI Zongsheng
( Dep artment of Electronic Science and Technology , East China N ormal Universi ty , Shanghai 200062, China)
Abstract : A new similarity method in FEM is presented for researching of the problems about the nonuniform and irregular re
gion, such as micromachined microwave coplanar waveguide,which can be fabricated through a commercial CMOS process. By using
this new method,we calculate the characteristic impedance of this kind of suspended waveguide and analyze the change with its dimen
sions. From the result,we summarize the different structures with characteristic impedance of 355075120 .
Key words: micromachined coplanar transmission; characteristic impedance; FEM method; similarity discretization
1 , .
,
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CMOS , ,
. .
, () , ,
, .
, 2
, ,
. 1 ,
, . Si V ,
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