电致变色氧化镍薄膜的制备与性能-东南大学学报.PDF

第 卷第 期 东 南 大 学 学 报 年 月 ! ∀ · · 研究简报 电 变色氧化镍 膜的 备与性能 致 薄 制 张旭 陈国平 , 东南大学薄膜研究所 南京 ! 色 光学 、 和吸 电致变 是指材料的 性能 光的透射 反射 收 通过外加 电场或 电流的作用在包 见 长 一 长 围内 , 括可 光波 的某 波 范 发生可逆变化的现象 氧化镍薄膜是 目前发现的性能最好的 , 、 、 ’ 电 料之一 〔〕 氧 法很 主 阳 致变色材 制备 化镍薄膜的方 多 要有 极氧化法 阴极还原法 化学汽相 、 学 、 一 、 蒸发法、 反应 沉积法 电化 沉积法 溶胶 凝胶法 电子束 磁控 溅射法等 与其它制膜工艺相 , , , 比 利用金属 在 混 通 流磁 反应 , 镍作为靶材 氢与氧 合气体中 过直 控 溅射制备氧化镍薄膜 不仅 于 、 、 及 , 且 流 具有工艺参数易 控制 重复性好 所制薄膜致密 性能稳定等优点 直 磁控溅射是 目前大 面 此, 此工 积制备薄膜的最成熟的工艺之 因 采用 艺研制氧化镍薄膜具有较高的实用价值 一 实验方法 , , 一 后 型 于 属 镀膜设备为经改装 的