柔性玻璃功能涂层沉积系统技术参数.DOCVIP

柔性玻璃功能涂层沉积系统技术参数 柔性玻璃功能涂层沉积系统功能和用途 本套设备将用于有机半导体材料（OLED/PLED）、太阳能电池原理型器件（Solar Cell）的加工、制备和表征的研究工作。 系统概述 基本构成：主要由1套真空腔室、1套真空系统和1套镀膜控制系统连接而成。 使用功能：用于薄膜太阳能电池材料的沉积 详细技术参数： 沉积系统要求为PC控制，包括沉积过程的控制、显示装置，可以显示膜厚、沉积时间、等信息； 1、系统设置和控制系统： 1.1基于windows操作系统，通过PC进行设置和控制； 1.2安全性能设计符合CSA SPE-1000标准； 1.3设有手动和自动两种镀膜操作模式； 1.4系统集成有安全互锁机构和报警装置； 1.5一体化、紧凑化设计，外观整洁，可独立使用也可与手套箱集成后使用； 1.6不同账户的安全模式。 2、沉积腔室： 2.1矩形蒸镀腔室，尺寸不小于400x400x500mm； 2.2前门为铰链式结构，带有安全互锁并带有手动锁死装置； 2.3腔室抛光处理并安装有隔离墙装置； 2.4前门带有观察窗，炮筒式设计结构，高度与样品台等高； 2.5预留有Loadlock接口，方便后期升级。 3、真空系统： 3.1 前级安捷伦机械泵，气体抽速不低于10cfm； *3.2德国普发分子泵，抽速不低于685l/s，配有Inficon Pirani真空规及计算机控制显示