直线电机驱动XY平台精密轮廓跟踪控制-中国电机工程学报.PDF

第 38 卷 第 19 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.38 No.19 Oct. 5, 2018 2018 年 10 月 5 日 Proceedings of the CSEE ©2018 Chin.Soc.for Elec.Eng. 5863 DOI ：10.13334/j.0258-8013.pcsee.172517 文章编号：0258-8013 (2018) 19-5863-06 中图分类号：TM 301 直线电机驱动XY 平台精密轮廓跟踪控制 武志涛，杨永辉* (辽宁科技大学电子与信息工程学院，辽宁省 鞍山市 114051) Precise Contour Tracking Control for Linear Motor Drive XY Tables * WU Zhitao, YANG Yonghui (School of Electrics and Information Engineering, University of Science and Technology Liaoning, Anshan 114051, Liaoning Province, China) ABSTRACT: In order to reduce the contour error generated by 0 引言 the direct-drive XY table during tracking process, this paper 随着工业制造技术及自动化设备的快速发展， presented a trajectory tracking control scheme combining the PDFF position controller and the real-time variable gain 使得制造业对于高速、高精度的要求逐渐提高，直 contour error compensator. By reasonably selecting three 驱 XY 平台由于采用直接驱动的方式达到直线运 parameters of PDFF controllers, permanent magnet linear 动，因此具有精度高、推力大、高速度等优点，被 position servo systems had the advantages of quick response 广泛应用于精密加工设备等领域[1] 。 and small overshoot. Furthermore, in order to accurately 精密的轮廓轨迹跟踪为多轴驱动系统的主要 estimate the contour error in real time, a new contour error 控制目的[2] 。若想减小循迹系统的轮廓误差，必须 model was defined by using the information of the tracking error and feed rate, and a real-time contour error estimator was 直接针对驱动系统的轮廓误差，设计