碳基无源器件研究进展综述-电子学报.PDF

第１２期 电　　子　　学　　报 Ｖｏｌ．４５　Ｎｏ．１２ ３０３７ ２０１７年１２月 ＡＣＴＡＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｄｅｃ．　２０１７ 碳基无源器件研究进展综述 王高峰，赵文生，孙玲玲 （杭州电子科技大学电子信息学院射频电路与系统教育部重点实验室，浙江杭州３１００１８） 　　摘　要：　碳纳米材料具有诸多独特的物理特性，如极大的热导率和载流容量．根据国际半导体技术发展路线图 给出的预测，碳纳米材料可望取代传统硅和铜材料成为下一代集成电路的基础材料．本文针对碳纳米材料在无源电子 器件方面的发展现状和应用前景，详细讨论了碳纳米管、石墨烯纳米带等碳基纳米互连结构的电学特性．进而，简要评 述了片上电感、电容器等碳基高频无源器件，并介绍了碳纳米材料在集成电路热管理方面的应用． 关键词：　碳纳米管；石墨烯；铜碳纳米材料；互连线；片上电感；变容器；散热器 中图分类号：　ＴＮ４０１　　　文献标识码：　Ａ　　　文章编号：　０３７２２１１２（２０１７）１２３０３７０９ 电子学报ＵＲＬ：ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｊｏｕｒｎａｌ．ｏｒｇ．ｃｎ　 ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．０３７２２１１２．２０１７．１２．０２９ ＯｖｅｒｖｉｅｗｏｆＣａｒｂｏｎＢａｓｅｄＰａｓｓｉｖｅｓ ＷＡＮＧＧａｏｆｅｎｇ，ＺＨＡＯＷｅｎｓｈｅｎｇ，ＳＵＮＬｉｎｇｌｉｎｇ （ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＲＦＣｉｒｃｕｉｔｓａｎｄＳｙｓｔｅｍｓｏｆＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ， ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ，ＨａｎｇｚｈｏｕＤｉａｎｚｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ３１００１８，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：　Ｃａｒｂｏｎｎａｎｏｍａｔｅｒｉａｌｓｈａｖｅｍａｎｙｕｎｉｑｕｅｐｈｙｓｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ，ｓｕｃｈａｓｅｘｔｒｅｍｅｌｙｌａｒｇｅｔｈｅｒｍａｌｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙ ａｎｄａｍｐａｃｉｔｙ．ＡｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｔｈｅＩＴＲＳｐｒｅｄｉｃｔｉｏｎ，ｃａｒｂｏｎｎａｎｏｍａｔｅｒｉａｌｓａｒｅｔｈｅｍｏｓｔｐｒｏｍｉｓｉｎｇｃａｎｄｉｄａｔｅｔｏｒｅｐｌａｃｅｔｈｅｃｏｎ ｖｅｎｔｉｏｎａｌｓｉｌｉｃｏｎａｎｄｃｏｐｐｅｒａｓｔｈｅｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｍａｔｅｒｉａｌｓｏｆｃｈｏｉｃｅｆｏｒｔｈｅｎｅｘｔｇｅｎｅｒａｔｉｏｎｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔｓ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｔｈｅ ｐｒｅｓｅｎｔｓｔａｔｕｓａｎｄｆｕｔｕｒｅｐｒｏｓｐｅｃｔｏｆｃａｒｂｏｎｂａｓｅｄｐａｓｓｉｖｅｄｅｖｉｃｅｓａｒｅｒｅｖｉｅｗｅｄ．Ｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎｏｆｃａｒｂｏｎｂａｓｅｄｎａｎｏ ｉｎｔｅｒｃｏｎｎｅｃｔｓ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｃａｒｂｏｎｎａｎｏｔｕｂｅａｎｄｇｒａｐｈｅｎｅｎａｎｏｒｉｂｂｏｎ，ａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄ．Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ｔｈｅｃａｒｂｏｎｂａｓｅｄｈｉｇｈｆｒｅ ｑｕｅｎｃｙｐａｓｓｉｖｅｄｅｖｉｃｅｓ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｏｎｃｈｉｐｉｎｄｕｃｔｏｒｓａｎｄｃａｐａｃｉｔｏｒｓ，ａｒｅｂｒｉｅｆｌｙｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｔｈｅｐｏｔｅｎｔｉａｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｏｆｃａｒ ｂｏｎｎａｎｏｍａｔｅｒｉａｌｓｉｎｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｍａｎａｇｅｍｅｎｔｏｆＩＣｓａｒｅａｌｓｏｄｉｓｃｕｓｓｅｄ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：　ｃａｒｂｏｎｎａｎｏｔｕｂｅ（ＣＮＴ）；ｇｒａｐｈｅｎｅ；ｃｏｐｐｅｒｎａｎｏｃａｒｂｏｎ；ｉｎｔｅｒ