纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究-摩擦学学报.PDFVIP

第 28 卷 　第 3 期 摩 擦 学 学 报 Vo l 28, 　No 3 2008 年 5月 TR IBOLO GY M ay, 2008 纳米弹性复合 DLC 薄膜的制备 及其摩擦性能研究 1 1, 2 1 1 1 1 程广贵 , 丁建宁 , 凌智勇 , 坎 　标 , 范 　真 , 石超燕 ( 1. 江苏大学 微纳米科学技术研究中心, 江苏 镇江 　2 120 13; 2. 江苏工业学院, 江苏 常州 　2 13016) 摘要 : 利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的 2种弹性体材料表面沉积厚度为 2. 7 nm 的 DLC膜 , 采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析 ,用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度 ,用 γ ( ) UM T2 型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能. 结果表明 , 以 缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷 187 为偶联剂 γ ( ) 的薄膜试样表面比以 氨丙基三乙氧基硅烷 A PS 为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低 ,薄膜的最上层为 ( ) DLC膜. 在硅表面沉积 DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数 0. 117 ～0. 137 ,在低载荷条件下 ,含偶联剂及弹性 体的 DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积 DLC 的薄膜 ,且以 187 为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳 ;在高载荷条 件下 ,硅表面沉积 DLC 的薄膜具有更优异的摩擦性能. ( ) 关键词 : 磁过滤阴极真空弧沉积系统 FCVA ; 弹性复合薄膜 ; DLC膜 ; 偶联剂 ; 摩擦性能 中图分类号 : TH 117. 3 文献标识码 : A 文章编号 : (2008) [ 1～11 ] ) 　　雒建斌等 对 M EM S器件的硅表面进行改 纯 依次超声清洗 10 m in , 以除去有机杂质 ,再将其 性研究 ,其主要思路为 :通过离子注入或在表面形成 放入体积比为 5 ∶1 ∶l的 H O、37% HC l和 H O 的 2 2 2 超硬层来提高硅表面的耐磨性 ;通过沉积软基层降 80 ℃溶液中浸泡