第六课光学轮廓测量.PDF

1 / 45 第六课 光学轮廓测量 居冰峰/刘伟庭 完成人： 居冰峰 杨克己 陈远流 孙韬 王文 白小龙 浙江大学 江苏中晶光电有限公司 2 / 45 第七节 光学轮廓测量 7.1、研究背景及意义 7.2、自动聚焦的光学原理 7.3、伺服跟踪机构及扫描运动机构 7.4、光学轮廓仪的测量实验 3 / 45 第七节 光学轮廓测量 7.1、研究背景及意义 7.2、自动聚焦的光学原理 7.3、伺服跟踪机构及扫描运动机构 7.4、光学轮廓仪的测量实验 4 / 45 7.1 研究背景及意义 非球面和自由曲面能够实现球面无法达到的低像差，能够显著减 小光学系统的体积和质量，同时给设计者带来更大的设计自由度， 近年来在军用和民用领域都有长足发展。 5 / 45 7.1 研究背景及意义 畸变 紫边 6 / 45 非球面和自由曲面的优势 更高的成像质量 极大的设计自由度 77 / 45 7.1 研究背景及意义 自由曲面和非球面面形复杂，精度要求高，对加工和检测带来 极大的考验。 F. Chen, et al., www.kyodo-inc.co.jp Opt. Express. 2010 www.carbide.co.jp users.ecs.soton.ac.uk 双锥反射镜 双锥透镜 透射光积分器 反射光积分器 离轴抛物面反射镜 透镜阵列 离轴环焦抛物面反射镜 屋顶分束镜 特点：面形复杂，表面起伏从微米量级到毫米量级。 8 / 45 7.1 研究背景及意义 自由曲面和非球面测量需求：非接触、高精度、大量程 面形测量需求 测量传感器的特点 金刚石单点车削 以法国STIL位移传感器为例 加工精度高于一 般测量仪器的精 度，测量过程无