基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２８ ２ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．２ 　 　 年 月 ， ２０１６ ２ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｆｅｂ． ２０１６ 　 　 基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术 卢丙辉， 刘炳国， 孙和义， 陈凤东， 刘国栋 　 　 　 　 （哈尔滨工业大学 电气工程及自动化学院，哈尔滨 １５０００１） 摘 要： 为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测，建立了 　　 　 　 基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置，给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨 率的计算方法，并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭 代收敛速度缓慢，甚至不收敛的问题，提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径，将点云进行横向压缩的方法， 在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后，对直径 １ｍｍ的镀金球靶进行了实际测量， 得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为 和 的检测结果，可以同时获得表面形貌的 １．３３２ ０．４７９ λ λ 整体起伏特征，以及局部的形貌细节。 关键词： 移相衍射干涉测量； 靶丸； 表面形貌； 子孔径拼接 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＮ２４７ Ａ 犱狅犻１０．１１８８４ＨＰＬＰＢ２０１６２８．０２２００６ 　　 　 　　　　 　 　　 ［ ］ １２ 惯性约束聚变 （ ）采用球形内爆增压技术，以高功率、高能量密度的激光轰击球形靶丸，使靶丸内的 ＩＣＦ 　　 氘氚燃料达到点火条件，从而形成自持的热核反应，被认为是解决未来能源危机最有前景的方案。作为 ＩＣＦ 核心部件的球形靶丸，其表面微小的形貌缺陷都可能引发不对称压缩，导致实验效率降低甚至打靶失败。靶丸 的制备十分困难，而且需要从大量的产品中筛选出合格品，这就需要高精度、高效率的检测手段予以支持。 ［］ ３ 对于靶丸的形貌检测，传统方法一般借助于原子力显微镜（ ），旋转靶丸并沿固定轨迹扫描其表面 。 ＡＦＭ 　　 该项技术较为成熟，具有极高的垂直分辨率，可获得靶丸的球度、曲率半径、表面粗糙度、功率谱等重要参数，但 由