低能脉冲电子探束研究气-固界面-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 8$ $ %%) $ ， ， ， WA 58$ 2A 5 $ X0IFY %%) （ ） !%%%*$%S%%)S8$ %$ S%7$8*%8 PTOP /UVLNTP LN2NTP !%%) TY3= 5 /YBE 5 LAF 5 低能脉冲电子探束研究“气 固”界面! ! ）） ） ） ） ） ） ! # $ ! ! ! 张 彤 胡 安 吴 强 毛福明 杨学谦 崔一平 !）（东南大学电子工程系，南京 !%%’ ） ）（南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京 !%%$ ） $ ）（南京师范大学数学与计算机科学学院，南京 !%%( ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%$ ) ) %%$ ’ !$ 介绍了利用低能脉冲电子探束研究“气 固”界面的基本原理和方法，并实验研究了室温 、 . $ 真 * ! + $%%, ! - !% /0 空条件下， ， ，“气 固”界面的相互作用，即吸附、脱附与置换作用，测量了电子诱导脱附产额、脱附截面和 1 2 *23 4 * 阈值能量，给出了实验结果分析与结论5 关键词：脉冲电子探束，电子诱导脱附，阈值能量，脱附截面 ： ， ， ， #$$ ’!!)6 (%, 7’82 $)8%9 导脱附方法在材料分析和界面特性方面的研究5 另 !G 引 言 一方面，电子探束本身作为荷能粒子束，在入射材料 表面时会对材料表面和界面造成损伤，尤其是高能 电子诱导脱附（ ，简 HHF@IA=*E@3;?0@HJ JHEAIK@3A= 电子探束在表面易损伤材料研究中，受到一定的局 称:L9，又称JHEAIK@3A= 3=J?FHJ MB HHF@IA=3F @I0=E3@3A=， 限5 利用低能电子诱导脱附可以减少对材料表面的 简称 ）是表面科学中一个重要的研究课题 近 9N:O 5 损伤5 目前电子诱导脱附实验研究，主要存在以下两