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Cha.10 压电式传感器 工作原理： 被测力及其相关物理量（加速度、振动等）-----? 电荷-?电压（流） 电介质或半导体压电效应 压电式传感器是一种自发电式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。 特点：体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性高。 一、压电效应 某些物质沿其一定的方向施加压力或拉力时，随着形变的产生，会在其某两个相对的表面产生符号相反的电荷（表面电荷的极性与拉、压有关），当外力去掉形变消失后，又重新回到不带电的状态，这种现象称为“正压电效应”—— 机械能转变为电能；反之，在极化方向上（产生电荷的两个表面）施加电场，它又会产生机械形变，这种现象称为“逆压电效应”——电能转变为机械能。具有压电效应的物质称为压电材料。 F F 极化面 Q 压电介质 机械能 ｛ 电能 ｝ 正压电效应 逆压电效应 压电效应及可逆性 石英晶体的正压电效应演示 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；而当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 石英晶体压电方程为： 压电常数矩阵 由于材料的各向异性，压电方程的矩阵表示 二、压电材料 压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵;酒石酸二钾、硫酸锤等); 多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。 天然石英晶体，其结构形状为一个六角形晶柱，两端为一对称棱锥。在晶体学中。可以把它用三根互相垂直的轴表示，其中，纵轴z称为光轴；通过六棱线而垂直于光铀的x铀称为电轴；与x轴和z轴垂直的y轴 (垂直于六棱柱体的棱面)，称为机械轴。 天然形成的石英晶体外形 1、石英晶体 石英晶体切片及封装 双面镀银并封装 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率。 晶振 2、压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶压电材料，它比石英晶体的压电灵敏度高得多，而制造成本却较低，因此目前国内外生产的压电元件绝大多数都采用压电陶瓷 。常用的压电陶瓷材料有锆钛酸铅系列压电陶瓷（PZT）及非铅系压电陶瓷 （如BaTiO3等）。 压电陶瓷外形 3、高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯（PVF2或PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、改性聚氯乙烯（PVC）等。它是一种柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长的尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应） 三、压电传感器的等效电路和测量电路 1、等效电路 压电传感器的基片结构如图 (a)，几何形状有圆片、方片、圆柱、圆筒等形状，在基片的两个相互绝缘(产生电荷)的表面镀有导电金属膜(如银膜)并焊接一对电极而成。由于压电传感器的基片一般具有较大的介电常数，电极间的距离也不大，所以压电传感器可以等效为一只电容器。 压电传感器可等效为与电容串联的电压源； 等效为一个与电容并联电荷源。 2、测量电路及系统等效电路分析 a）.完整的系统等效电路 压电元件是一种换能器件，属有源传感器，它在系统中有两种等效形式： ⑴ 电压源 U，与其等效电容Ce串联； ⑵ 电荷源 q ，与其等效电容Ce并联。 b).测量电路（变换电路、前置电路） 前置放大电路的必要性： ① 高内阻，须作阻抗变换。 ② 输出功率小，分布参数及干扰影响大。 可以用电压、电荷放大器作为前置变换电路：从电压源 U等效的观点看可以使用电压放大器；从电荷源q 等效的观点看可以使用电荷放大器。 (1)、电压放大器(阻抗变换器) 根据系统等效电路的简化电路有： 当压电元件为压电陶瓷、施加的外力为交变力： 元件输出： R和C的并 联阻抗： ～ ～