西门子体系中SiHCl3和SiCl4的热力学行为-中国有色金属学报.PDF

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2019-04-12 发布于天津
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西门子体系中SiHCl3和SiCl4的热力学行为-中国有色金属学报

第 18 卷第 10 期中国有色金属学报 2008 年 10 月 Vol.18 No.10 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Oct. 2008 文章编号：1004-0609(2008)10-1937-08 西门子体系中SiHCl 和SiCl 的热力学行为 3 4 1 1 2 2 苗军舰，丘克强，顾珩，陈少纯 (1. 中南大学化学化工学院，长沙 410083 ； 2. 广州有色金属研究院，广州 510651) 摘要：在选取与实际生产相近的温度、氢气配比(H 与SiHCl 的初始比例)和压力的基础上，计算西门子体系中 2 3 硅源气体SiHCl 的剩余量与副产物SiCl 的生成量，分别绘制二者随所选条件的变化图，并利用这些热力学图，分 3 4 析温度、氢气配比及压力对西门子法生产多晶硅反应体系中SiHCl 和SiCl 热力学行为影响的规律。结果表明：当 3 4 压力、氢气配比一定时，SiHCl 的剩余量与温度呈反比，SiCl 的生成量则是先随温度的升高而增加，后又变小； 3 4 当温度和压力一定时，增大氢气配比SiCl 生成量减少，只有在氢气配比大于 5 以后SiHCl 的剩余量才与它呈反比 4 3 关系；当温度和氢气配比一定时，随着压力的降低，SiHCl 的剩余量减少，SiCl 则呈先增加再减少的变化趋势。 3 4 关键词：SiHCl ；SiCl ；西门子体系；热力学行为 3 4 中图分类号：O 642.4; O 613.72 文献标识码： A Thermodynamic behavior of SiHCl and SiCl in Siemens system 3 4 1