电浆处理在环境工程之应用技术研习会半导体PFC废气处理技术.PDF

電漿處理在環境工程之應用技術研習會 半導體 PFC 廢氣處理技術— 熱電漿破壞法 陳孝輝 博士 原子能委員會核能研究所物理組 桃園縣龍潭鄉佳安村文化路 1000 號 Email: shchen@.tw 摘 要 近幾年來全球氣候反常 ，造成環境生態受損 ，有許多相關觀測與研究皆指出此 乃地球之溫室效應造成。故於 1997年聯合國京都議定書中通過管制溫室氣體排放量 之後 ，世界各國均在研擬對策如何因應此限制對相關產業之衝擊 。 全氟碳化物 (PerFluoroCompounds，簡稱 PFCs)是一人造強效溫室效應氣體也被列入管制名單 中 。PFCs常見於半導體製程及鋁製程產業之排放氣體中 ，半導體產業發達之各國己 有共同認知及協議將遵守京都議定書規範減少 PFCs氣體之排放，台灣半導體產業亦 受到同樣約束 。全氟碳化物為一極穩定之化合物 ，現今半導體廠普遍採用的電熱解 氧化尾氣處理裝置對全氟碳化物氣體之處理效果不彰 ，因而新全氟碳化物處理機台 的需求是一大商機所在 。核能研究所發展高溫電漿火炬技術多年 ，現已應用到固態 廢棄物之熔融固化 。在這文章主要說明利用電漿火炬產生之高溫電漿進行對全氟碳 化物直接裂解的破壞與去除實驗成果 ，對 C2F6 及 CF4等去除效率均能達到 99.9% ，副 產物主要為 CO2與 HF 。目前此技術與廠商合作組裝成一完整半導體尾氣局部洗滌機 台 ，也通過工研院環安中心檢驗認證 ，在某半導體製造廠內進行實地場測中 。 關鍵字 ：溫室氣體 、全氟碳化物 、熱電漿 、電漿火炬 一 、溫室效應氣體管制與 PFCs 近幾年來全球氣候反常 ，造成環境生態受損 ，目前亦有越來越多的相關氣候研 究及觀測數據指出此乃地球之溫室效應造成 ，若不早點採取防範措施減少溫室效應 氣體排放 ，將造成更大環境災難 ，甚至影響到人類生存 。故 1997年”聯合國氣候變 化綱要公約京都議定書”中各國通過管制六種主要溫室氣體(二氧化碳 CO2 、甲烷 CH4 、氧化亞氮 N2O 、六氟化硫 SF6 、氫氟碳化物 HFCs及全氟碳化物 PFCs等) 的具體 減量方案及時程表 ，其中 CO2 、CH4 、N2O 的管制基準年為 1990年 ，而 HFCs、PFCs、 與 SF6 為 1995年[1,2]。由於京都議定書必須獲 1990年二氧化碳及其他溫室效應氣 體排放量佔 55%的55個國家簽署批准，條約才能正式生效。目前美國(佔排放量 36 %) 尚未同意京都議定書之全部內容 （主要在 CO2之管制排放量上有爭議），故必須需要 1 其他主要國家如澳洲 、加拿大 、日本與俄羅斯等背書 ，否則將無法達到 55 %的門檻 。 雖然目前俄羅斯也公開表示不支持 ，使得京都議定書的正式生效困難重重 ，但世界 主要各國及相關產業界均在研擬規畫最有利之因應策略來遵循京都議定書的減量目 標 ，以因應此溫室效應氣體排放限制對產業之衝擊[3] 。 在六種主要管制溫室氣體中 SF6 、HFCs及 PFCs等人造氣體主要來源為工業排 放 ，這三者其共通的特性有 ：具有高全球暖化潛勢指數值 （Global Warming Potential,GWP）；在大氣層中具極長之生命期且此效應會累積不可逆的 。表 1 為一 般常見溫室氣體之全球暖化潛勢指數值與生命期 。其中暖化潛勢指數值是以一百年 效應為基準 ，標記為 GWP100 ，並以二氧化碳之 GWP100值定為 1 為基準 。 Greenhouse Global Warming Greenhouse Global Warming Atmospheric lifetime (yrs) Gas Atmospheric lifetime (yrs) Gas