高气压微波氢等离子体发射光谱诊断-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２２ ９ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．９ 　 　 年 月 ， ２０１０ ９ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｓｅ． ２０１０ 　 ｐ 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１００９２０２７０５ 　 高气压微波氢等离子体发射光谱诊断 吴利峰， 马志斌， 翁国锋， 湛玉龙 　 　 　 （武汉工程大学 材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，武汉 ４３００７３） 摘 要： 在 ， 级的高气压微波等离子体放电系统中，通过测量不同微波功率和放电气压 ２．４５ＧＨｚ８００Ｗ 　　 　 　 下氢等离子体的Ｂａｌｍｅｒ线系的发射光谱，从测量的谱线总展宽中卷积去掉具有高斯线形的Ｄｏ ｌｅｒ展宽和仪 ｐｐ 器展宽得到谱线的Ｓｔａｒｋ展宽，并通过 Ｓｔａｒｋ展宽测量氢等离子体的电子数密度和电场强度。结果表明：等离 子体的电子数密度和电场强度随着放电气压的升高都是先增大后减小，随着微波功率的增加呈现逐渐增大的 趋势。微波功率为 ８００Ｗ 时，气压在 ２５ｋＰａ时电子数密度和电场强度都达到最大值，等离子体的电子数密度 和内部的电场强度分别为 １２ －３及 ／ 。 ３．５５×１０ ｃｍ ４．０１ｋＶ ｃｍ 关键词： 发射光谱； Ｓｔａｒｋ展宽； 高气压放电； 氢等离子体； 电场强度 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＬ６５ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ２０２７ 　　 　 　　　　 　 　　 　　等离子体作为一种由大量微观粒子组成的热力学体系，其中热运动和电磁作用过程共存，描述其热力学性 质的物理量———温度就表现出相当的复杂性。为了研究等离子体中的基元物理化学过程以及改进等离子体工 ［］ ［］ ［］ ［］ １ ２ ３ ４ 艺流程，有必要对其中的各种参数进行测量 。一般的测量方法有探针法 、质谱法 和光谱法 。而对于非 平衡等离子体高气压放电，探针测量理论已不再适用，质谱法虽然其测量的精度很高，但使用的成本大，对实验 ［］ ５ 条件的要求又比较苛刻。利用原子发射光谱实时测量等离子体内部参数及某些动力学过程已有不少