激光干涉二等量块自动测量装置-中国测试.PDFVIP

第41卷第9期 中国测试 Vol.41 No.9 2015年9月 CHINA MEASUREMENT TEST September，2015 doi院10.11857/j.issn.1674-5124.2015.09.016 激光干涉二等量块自动测量装置 1袁2 3 1袁2 何冬琦 袁 张旭东 袁 张 勇 （1.广东省现代几何与力学计量技术重点实验室，广东 广州 510405；2.广东省计量科学研究院，广东 广州 510405； 3.中国计量科学研究院，北京 100013） 摘 要院该文利用激光干涉测长原理研发二等量块自动测量系统袁该装置采用633nm碘饱和吸收稳频He-Ne激光 器作为标准遥硬件方面设计尧开发机械本体袁搭建激光光路和信号处理模块袁研发精密定位的柔性传感器袁选配相关 电机驱动和环境参数监控系统曰软件方面研发数据采集和监控处理程序尧测量结果判定及环境参数补偿软件遥本装 置测量范围上限达 100mm袁测量量块的扩展不确定度为 U=0.04~0.08滋m渊k=3冤袁其复现量值指标达到JJG 146要要要 2011叶量块曳的技术要求遥 关键词院量块曰激光干涉曰柔性定位曰不确定度 文献标志码院A 文章编号院1674-5124渊2015冤09-0071-04 Automatic measurement device for order-2 gauge block based on laser interference principle 1，2 3 1，2 HE Dongqi ，ZHANG Xudong ，ZHANG Yong （1.Guangdong Provincial Key Laboratory of Modern Geometric and Mechanical Metrology Technology， Guangzhou 510405，China； 2.Guangdong Institute of Metrology，Guangzhou 510405，China； 3.National Institute of Metrology，Beijing 100013，China） Abstract: An automatic measurement device for order-2 gauge block has been developed with the principle oflaser interference.The device is based on an iodine-saturatedfrequency-stabilized 633 nm- wavelength He-Ne laser. The hardware designs of this device includes：designing and processing basic mechanical structure，setting up laser light path，developing flexible accurate positio