PECVD沉积速率和清洗速率.pptVIP

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2019-04-11 发布于山东
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PECVD沉积速率和清洗速率.ppt

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* 实验总纲实验目的：建立PECVD基本参数实验方法：在SiO2表面上正光阻，曝光显影后，用BOE去光阻，最后用台阶仪测量深度，计算得出速率。实验步骤首先设定实验参数 SiH4/Ar N2O 压强温度 RF 时间 30sccm 400sccm 135Pa 300℃ 30W 24m 按设定的参数沉积SiO2，测量致密性，然后拿去曝光显影。 BOE蚀刻后，去掉光阻，可以用台阶仪测量高度了。测量和搜集数据。测点上中下左右平均值片1 7052 7012 7532 6851 6883 7067 片2 8214 7064 8020 7720 6898 7583 片3 6875 7292 8680 7170 6886 7380 经计算得出PECVD的沉积速率是5.10A/s 蚀刻芯片使用清腔气体蚀刻上有SiO2的芯片，以判别该器台的蚀刻速率，更好的掌握清腔的时间。首先设定实验参数 CF4 O2 压强温度 RF 时间 100sccm 100sccm 200Pa 300℃ 250W 6m 把之前的芯片放进去，然后启动清腔程序，最后测量高度。用原来的高度减去蚀刻后的高度，就能得出蚀刻的高度。测点上中下左右平均值片1 6169 6420 6289 6396 6416 6338 片2 6737 6514 6721 6713 6379 6612 片3 6646 6408 6085 6266 6361 6357 经计算得清腔气体蚀刻SiO2速率是2.52A。实验完毕 2010.08.02 INSERT THE TITLE OF YOUR PRESENTATION HERE FREE PPT TEMPLATES ALLPPT.com _ Free PowerPoint Templates, Diagrams and Charts Free PPT Templates - Widescreen(16:9) This PowerPoint Template has clean and neutral design that can be adapted to any content and meets various market segments. With this many slides you are able to make a complete PowerPoint Presentation that best suit your needs. This PowerPoint Template has clean and neutral design that can be adapted to any content and meets various market segments. With this many slides you are able to make a complete PowerPoint Presentation that best suit your needs. This PowerPoint Template has clean and neutral design that can be adapted to any content and meets various market segments. With this many slides you are able to make a complete PowerPoint Presentation that best suit your needs. Click to add title *