微电子生产过程调度问题基于指标快速预报的分解算法-控制与决策.PDF

第xx卷 第x期 控 制 与 决 策 Vol.xx No.x xxxx年 x 月 Control and Decision xxx. xxxx DOI: 10.13195/j.kzyjc.2018.0422 微电子生产过程调度问题基于指标快速预报的分解算法 龙 , 许川佩 , 刘民 (1. 桂林电子科技大学 电子工程与自动化学院，广西 桂林541004 ；2. 广西 自动检测技术与仪器重点实验室， 广西 桂林541004 ；3. 清华大学 自动化系, 北京100084) 摘 要: 微电子生产过程调度问题具有规