纳米材料的检测分析技术.ppt

纳米材料的检测分析技术简介 电子与物质相互作用 当高能入射电子束轰击样品表面时，入射电子束与样品间存在相互作用，有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而余下的约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，主要有： 1)二次电子—从距样品表面l00 ?左右深度范围内激发出来的低能电子。50 eV---SEM 2)背散射电子—从距样品表面0.1—1μm深度范围内散射回来的入射电子，其能量近似入射电子能量。 SEM、低能电子衍射 3)透射电子—如果样品足够薄(1μm以下)。透过样品的入射电子为透射电子，其能量近似于入射电子能量。TEM 4)吸收电子—残存在样品中的入射电子。 吸收电子像：表面化学成份和表面形貌信息。 5)俄歇电子—从距样品表面几?深度范围内发射的并具有特征能量的二次电子。 6)非弹性散射电子—入射电子受到原子核的吸引改变方向电子。能量损失谱。 7)X射线(光子)—由于原子的激发和退激发过程，从样品的原子内部发射出来的具有一定能量的特征X射线，发射深度为0.5—5μm范围。 8)阴极荧光—入射电子束发击发光材料表面时，从样中激发出来的可见光或红外光。 9)感应电动势—自由载流子在半导体的局部电场作用下,各自运动到一定的区域积累起来,形成净空间电荷而产生电位差。 二、透射电子显微镜 （TEM） 组成：照明系统、样品台、物镜系统、放大系统、数据记录系统。 TEM法测纳米样品的优缺点 SEM分析样品的优缺点 优点： 1)仪器分辨本领较高，通过二次电子像能够观察试样表面60 ?左右的细节。 2) 放大倍数变化范围大(一般为l0—150000倍)，且能近续可调。 3)观察试样的景深大，图像富有立体感。可用于观察粗糙表面，如金属断口、催化剂等。 4)样品制备简单。 缺点： 不导电的样品需喷金(Pt、Au)或喷碳处理，价格高，分辨率比TEM低，现为3-4nm。 四、扫描隧道显微镜 STM 1981年，美国IBM司G.Binning和H.Rohrer博士发明了扫描隧道显微镜，针尖与样品间距1 nm，横向分辨率0.4 nm。 这是目前为止能进行表面分析的最精密仪器，既可观察到原子，又可直接搬动原子。 横向分辨率可达到0.1 nm，纵向分辨率可达到0.01 nm。 两位博士因此获得1986年诺贝尔物理奖。 1．基本结构 2. STM工作原理 [1] 隧道电流的产生 在样品与探针之间加上小的探测电压，调节样品与探针间距控制系统，使针尖靠近样品表面，当针尖原子与样品表面原子距离≤10?时，由于隧道效应，探针和样品表面之间产生电子隧穿，在样品的表面针尖之间有一纳安级电流通过。电流强度对探针和样品表面间的距离非常敏感，距离变化1 ?，电流就变化一个数量级左右。 [2]扫描方式： 移动探针或样品，使探针在样品上扫描。 根据样品表面光滑程度不同，采取两种方式扫描：恒流扫描，恒高扫描 A:恒流扫描： 即保持隧道电流不变，调节探针的高度，使其随样品表面的高低起伏而上下移动。 样品表面粗糙时，通常采用恒流扫描。 移动探针时，若间距变大，势垒增加，电流变小，这时，反馈系统控制间距电压，压电三角架变形使间距变小，相反…..，保持隧道电流始终等于定值。记录压电三角架在z方向的变形得到样品表面形貌。 B:恒高扫描： 当样品表面很光滑时，可采取这种方式，即保持探针高度不变，平移探针进行扫描。直接得到隧道电流随样品表面起伏的变化。 特点：成像速度快。 3. STM像 STM通常被认为是测量表面原子结构的工具，具有直接测量原子间距的分辨率。 但必须考虑电子结构的影响，否则容易产生错误的信息。 原因是STM图像反映的是样品表面局域电子结构和隧穿势垒的空间变化，与表面原子核的位置没有直接关系，并不能将观察到的表面高低起伏简单地归纳为原子的排布结构。 4. STM的特点： 优点： （1）具有原子高分辩率。横向：0.1nm, 纵向：0.01nm。最高。 （2）可实时得到在实空间中表面的三维图像； （3）可以观察单个原子层的局部表面结构。 （4）可在真空、大气、常温等不同环境下工作，甚至水中也可以，而且对样品无损。 （5） 不仅可以观察还可以搬动原子。 缺点： 要求高： 防震，高真空，防温度变化。 电导率在10-9S/m以上的样品可以满足常规STM测试的要求。如果样品的导电性很差。最好使用银或金导电胶将其固定，并进行镀金处理。 在恒流模式下，样品表面微粒之间的沟槽不能够准确探测。恒高模式下，需采用非常尖锐的探针。 SEM 、STM不能测量绝缘体表面的形貌。 1986年，Binning、Quate 和Gerber等人提出原子力显微镜的概念，在斯坦福大学发明了第一台原子力显微镜，不但分辨率高，可测量绝缘体，还可测量表面原子力，