微机电系统复习参考题目.DOC

《微机电系统》复习参考题目 1、微机电系统（MEMS）的英文全称？ 2、微机电系统得内涵和特点？ 3、LIGA技术包含内容？ 4、DEM技术包含内容？ 5、什么是MEMS微尺度效应？ 6、MEMS的设计涉及那些学科？简述MEMS的设计方法及特点 7、工程系统设计通常有几种方法？其主要思路是什么？试举例说明。 8、集成电路基本制造基本程序？ 9、薄膜制备的方法有哪两类？ 10、什么是外延技术？常用的外延技术有哪几种？ 11、什么是掺杂工艺？有哪些方法？ 12、氮化硅的性质，用途和制备方法是什么？ 13、什么是光刻工艺？典型的光刻工艺流程？ 14、简述干法腐蚀的特点？ 15、MEMS制造工艺有哪两类主要技术？叙述各类技术的主要内容。 16、叙述硅刻蚀的湿法技术的主要工艺流程。各向同性刻蚀的特点是什么？各向异性刻蚀的机理是什么？ 17、叙述硅刻蚀的干法技术主要工艺流程。 18、简要叙述电化学自停止腐蚀技术。 19、LIGA体微加工技术的组成部分是什么？及其主要工艺流程。 20、什么是微电铸工艺？微电铸工艺的难点是什么？如何解决？ 21、什么是微复制工艺及其工作原理？ 22、什么是阳极键合技术，其机理及阳极键合质量的影响因素。 23、目前加速度微传感器测试机理有几种？简述阵列式加速度微传感器的设计思路。 24、磁微传感器的基本特点? 举例说明磁微传感器应用？ 25、光微传感器的物理机理是什么？光纤传感器的特点？ 26、简述磁致伸缩金属的物理特性，为什么可以用做微执行器的材料。 27、记忆合金材料的特点是哪些？其应用方面有哪些？ 28、说明静电微马达的工作原理。 29、为何在宏观电机中主要采用电磁驱动，而在MEMS电机中主要采用静电力驱动？。 30、梳状微谐振器的结构和工作原理是什么？ 31、无阀微泵泵腔容积经过“吸入-排出”一个周期后，会沿泵的入口到出口形成流量，画出其工作原理示意图，说明其工作原理？其优点是什么？ 32、举例说明MEMS产品在军事或民用中的应用，它们的特点以及未来发展趋势。